Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de pointe conçu pour fournir des solutions de métrologie complètes pour la caractérisation des conceptions avancées de plaquettes et de puces. C'est un système intégré, équipé de plusieurs fonctionnalités pour fournir une analyse complète et l'évaluation des performances pour la conception de plaquettes de différentes hauteurs. KLA RS 55 TCA utilise des technologies laser de pointe pour l'inspection des défauts. Les technologies à base de laser utilisées par l'unité sont la machine d'imagerie Compact Dual Mode (CDM) pour le champ lumineux, le champ sombre, la métrologie des couleurs, ainsi que les mesures de superposition en ligne du CDM en option pour détecter les petits défauts. En outre, plusieurs outils automatisés de conception optique non laser tels que le champ lumineux optique et le champ noir, la métrologie et la superposition peuvent être inclus dans l'outil. L'actif optique à double vue permet une inspection simultanée des défauts et des mesures de métrologie par recouvrement sur plusieurs sites de plaquettes. Le modèle a un champ de vision maximal de 500mm dans les axes X-Y, et une distance de travail maximale de 4-5mm. Il est capable de distinguer et de mesurer des défauts aussi petits que 0,25 μ m de la surface du substrat. D'autres caractéristiques de l'équipement comprennent un balayage de ligne à grande vitesse Mode et large plage de mesure Mura avec des algorithmes de traitement du signal dédié. Le système est alimenté par des cadres d'analyse d'image haute vitesse, permettant des temps de traitement d'image plus rapides en réduisant les charges informatiques. Il est supporté par une unité d'automatisation d'entrée/sortie de plaquettes unique en son genre, qui facilite le débit élevé. En plus de ses fonctionnalités matérielles, TENCOR RS-55/TCA est équipé d'un logiciel avancé qui fournit des fonctionnalités d'analyse et de surveillance ainsi qu'une interface conviviale. Le logiciel peut fournir des rapports complets sur un cycle de processus, y compris des cartes des défauts, des graphiques des tendances, et la gestion des défauts/le contrôle statistique des processus (RCP). La machine logicielle permet une collecte de données efficace pour aider à identifier, prioriser et réduire les pertes de qualité et de rendement. PROMETRIX RS-55 TCA est une solution complète et rentable pour le test complet et la métrologie des plaquettes et puces avancées. Il offre des performances fiables et fournit une analyse de bout en bout pour un cycle d'évaluation complet.