Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA est un équipement d'essai et de métrologie rapide et sophistiqué conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il combine une imagerie automatisée haute résolution avec des mesures semi-automatisées, permettant une analyse et une évaluation détaillées des plaquettes semi-conductrices avec une excellente répétabilité et précision. Le KLA RS 55 TCA est équipé d'un système d'optique télécentrique qui peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 pouces. L'unité permet l'imagerie de haute précision de la plaquette d'essai comprenant des caractéristiques microscopiques et macroscopiques, ainsi que le profilage de profondeur 3D avec la capacité de microscopie électronique à balayage (SEM). Cette machine d'imagerie intégrée fournit des écarts de résolution d'image aussi petits que 0,5 microns. L'outil d'imagerie haute résolution permet aux utilisateurs de détecter les défauts nanométriques, l'épaisseur des couches minces et les mesures des paramètres critiques. Les mesures automatisées telles que la superposition, la focalisation et la répétabilité, la comparaison spectroscopique, la détection des défauts, la correspondance des motifs et la profondeur de gravure sont toutes activées par les capacités de métrologie de TENCOR RS-55/TCA. De plus, KLA RS-55 TCA est livré avec un logiciel de pointe conçu pour l'analyse automatisée et la déclaration des résultats d'inspection. Le logiciel est capable de contrôler l'instrumentation des actifs, de mesurer les paramètres et de générer des rapports avec une variété de formats. Par exemple, le logiciel est équipé d'outils de contrôle statistique des processus (RCP) et de résolution de problèmes, ainsi que de bases de données personnalisables sur les limites de masques. Enfin, TENCOR RS-55 TCA dispose d'une opération climatisée qui lui permet de maintenir des températures impeccables et de faibles fluctuations pour assurer le plus haut niveau de précision et de répétabilité des résultats, même lorsqu'il fonctionne avec plusieurs plaquettes fonctionnant simultanément. PROMETRIX RS 55 TCA est un modèle d'essai et de métrologie de plaquettes puissant et fiable qui fournit des capacités d'imagerie et de mesure de précision avec une précision et une répétabilité de premier ordre. Il s'agit d'une solution idéale pour les applications de fabrication et de test de semi-conducteurs qui nécessitent une imagerie haute résolution et des temps d'exécution rapides.