Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9293260
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA est un système de test et de métrologie des plaquettes de haute précision spécialement conçu pour le contrôle avancé des processus dans les environnements de production de semi-conducteurs. Il combine des capacités avancées de détection et de classification des défauts avec une cartographie topographique 3D complète et une analyse de résistivité. L'optique d'imagerie automatisée KLA RS 55 TCA offre un large champ de vision à haute résolution pour garantir des capacités de détection et de classification supérieures. Le système dispose d'une capacité de mise au point automatique brevetée et innovante dans laquelle les images sont évaluées en continu et des corrections sont apportées à l'objectif d'imagerie afin d'assurer une netteté maximale et une fidélité à l'image. Il intègre également la technologie de cartographie dynamique pour la cartographie topographique de haute précision. TENCOR RS-55/TCA est capable de détecter des défauts nanométriques avec une précision et une fiabilité inégalées. Son système breveté de classification des défauts utilise des techniques probabilistes pour détecter et classer rapidement les défauts complexes avec confiance. Cela garantit que seuls les défauts significatifs sont signalés. Il est également capable d'analyse avancée des défauts, y compris la profilométrie optique 3D et les mesures électriques, permettant de mesurer des propriétés telles que la profondeur de gravure et la résistivité. KLA RS-55TCA offre traçabilité et reproductibilité grâce à son architecture logicielle sophistiquée. Ses multiples recettes et ses processus d'imagerie et de métrologie entièrement automatisés permettent aux opérateurs de mettre en place et de tester rapidement une gamme d'appareils. Il en résulte une augmentation du débit, une diminution des taux de défauts et une amélioration du rendement de fabrication. RS-55TCA a une conception modulaire et est open-architecture, ce qui lui permet d'être facilement intégré dans d'autres processus de production ainsi que des systèmes robotiques. Sa construction robuste et modulaire et sa qualité de construction mécanique supérieure garantissent des performances dans des environnements industriels difficiles. Combiné à un logiciel KLA de classe mondiale, RS-55 TCA fournit une solution complète pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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