Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9300181
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA est un équipement avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui fournit une métrologie intégrée et l'examen des défauts des circuits intégrés et des structures de couches minces sur les plaquettes. KLA RS 55 TCA est le résultat de l'intégration des capacités éprouvées de métrologie et d'examen des défauts de KLA et du processus breveté de test des plaquettes TENCOR. L'intégration de ces deux processus dans TENCOR RS-55/TCA garantit une métrologie de haute qualité et une identification rapide et fiable des défauts. Le système est équipé d'un microscope optique de haute précision avec unité d'autofocus laser, d'un sous-système de traitement d'image automatisé et d'un microscope électronique à balayage (SEM) permettant d'identifier les défauts de surface et de sous-surface. La machine fournit également des capacités d'inspection et de révision des défauts en temps réel. L'optique peut images structures jusqu'à des tailles de 0,1 microns. RS-55TCA comprend un large éventail de caractéristiques d'imagerie telles que l'identification de la puce d'analyse ou de test, l'ajustement automatique des paramètres de mise au point, le contrôle du contraste et du seuil le plus bas, la mesure en temps réel de la taille et de la surface des défauts, l'analyse de la répartition des défauts, l'analyse histogramme, la reconnaissance des différents types de défauts et la génération automatique de rapports. Il fournit également des modes de révision automatisés et interactifs des plaquettes, permettant aux utilisateurs de visualiser et d'analyser rapidement les défauts au niveau des plaquettes ou des sous-plaquettes. L'outil est conçu pour fonctionner en salle blanche, mais il est également capable de fonctionner dans une plage de température, d'humidité et de pression. Cette capacité d'adaptation est idéale pour un large éventail d'applications industrielles. Le principal avantage du modèle KLA RS-55TCA est sa capacité à identifier et analyser rapidement les défauts sur une plaquette en combinant les capacités de métrologie et de révision des défauts bien connues de PROMETRIX avec ses technologies d'imagerie optique et SEM de haute précision. En conséquence, les utilisateurs peuvent s'attendre à un contrôle des processus plus rapide et plus précis et à des rendements améliorés. En outre, l'équipement peut réduire le temps de commercialisation et améliorer la satisfaction des clients.
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