Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #179989 à vendre en France

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ID: 179989
Resistivity mapping system, 8" Hardware Configurations: Handler Type: H2 handler, with two open cassette platens, it can be attached with ASYST Load port for SMIF fab Computer: 486/66 MHz SW(StatTrax) Version : ST-6.70 Probe Head: x1 (Probe head type is optional depends on request) Standard User interface - Monitor, Keyboard, trackball Standard Media : Floppy Disk(1.44M) Measurement Specifications: Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head. Temperature Accuracy: ±0.5oC Temperature Repeatability: ±0.2oC Measurement Capabilities: Routine check: 1-30 sites programmable XY map: up to 1,200 sites programmable Single or dual configuration capability All standard wafer sizes: 100, 125, 150 and 200 mm Analysis Capabilities: Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites Probe qualification test: 20 sites, programmable radius Trend and SQC charts Histograms Calibration curves for low dose monitoring Data Transfer Capabilities: SECS-II, RS232 communication Enhanced SECS-II for fully automated operation (optional) 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes emballées conçu pour des études rapides et de haute précision des dispositifs, circuits et technologies connexes à semi-conducteurs. Il fournit des mesures d'inspection optique automatisée (AOI) et de dimensions critiques (CD) avec une précision de sous-microns. Le système est construit sur un cadre robuste qui permet des mesures simultanées AOI et CD, permettant une caractérisation rapide des appareils. KLA RS75/TC fournit des données de métrologie haute résolution via une tête optique dédiée qui dispose d'un plateau motorisé et d'une lentille de recherche, permettant des capacités de balayage rapides et précises. En utilisant des méthodes de visualisation télescopiques et automatisées avancées, l'unité peut détecter, mesurer et analyser avec précision les défauts et les paramètres CD en fonction des besoins du client. La fonction d'auto-étalonnage optimise les performances optiques en fonction du type de plaquette et des paramètres définis par l'utilisateur. La suite de logiciel d'analyse 3D avancée intégrée, de propriétaire inclut l'inverse puissant optique, le CD et les outils GQA pour la métrologie complète, complète et l'analyse de défaut. Le logiciel s'intègre facilement à de nombreux modèles écologiques de référence, simplifiant les analyses de santé et d'évaluation des risques tout en garantissant des résultats exacts et cohérents. TENCOR RS-75TC dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet un contrôle efficace des paramètres d'alignement optique et d'échantillonnage, permettant d'obtenir des défauts et des mesures de CD de manière fiable en un seul balayage. L'environnement coloré et contrôlé assure des niveaux de luminosité constants, permettant une détection visuelle et des défauts optimale. En outre, PROMETRIX RS-75TC offre une gamme de fonctionnalités conviviales qui aident à rationaliser la collecte et l'analyse des données. Il permet la réplication et le partage des recettes de plaquettes, des pistes de balayage transportables, et l'examen de plusieurs propriétés de défaut à la fois. De plus, son « Analysis Report Table » offre aux clients un outil de reporting facilement programmable, leur permettant d'exporter des données en format .csv ou .xls en une seule expérience. KLA RS-75/TC est l'outil parfait pour les essais et la métrologie de plaquettes avancées pour une large gamme de dispositifs, circuits et technologies semi-conducteurs. Il offre un contrôle complet de l'alignement optique, des paramètres d'échantillonnage et de l'inspection automatisée des défauts, permettant aux clients d'étudier de manière fiable leurs appareils tout en assurant précision et cohérence. Ses fonctionnalités avancées et son interface utilisateur intuitive rendent la machine simple à utiliser, permettant aux clients d'avoir un outil de métrologie puissant, rapide et très précis dans la paume de leurs mains.
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