Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457 à vendre en France

L'équipement d'essai et de métrologie KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 est un outil de haute performance entièrement automatisé pour l'inspection et l'analyse des paramètres des dispositifs dans les équipements semi-conducteurs. Il offre un large éventail de capacités avancées pour aider dans la caractérisation, la validation et les processus de contrôle de la qualité. KLA RS75 offre une solution tout-en-un avec une station d'imagerie haute résolution avec inspection, inspection réflexe et courbes IV, un système de métrologie avancé, et de puissants outils d'analyse de données. La station d'imagerie utilise la technologie de corrélation numérique d'images (DIC) pour permettre une véritable imagerie 3D haute résolution qui peut être utilisée pour l'inspection des défauts haute résolution et des dimensions critiques (CD). L'unité d'inspection réflexe du TENCOR RS 75 est conçue pour détecter les interférences optiques telles que les particules, la rugosité du bord de ligne et d'autres facteurs de non-uniformité qui peuvent affecter les performances du dispositif. La machine fournit également des statistiques avancées (RCP) et des analyses de défauts sur place pour détecter des modèles aberrants qui peuvent indiquer des problèmes plus importants. Avec les capacités d'imagerie et de réflexe, RS-75 dispose d'un outil de métrologie puissant pour la mesure précise des paramètres de l'appareil. Cela comprend la précision de placement de pointe (EPA) et la capacité de contrôle des processus (PC-C) ainsi qu'un actif de métrologie multi-puces haute vitesse pour la mesure du volume et le contrôle des processus. Le modèle de métrologie comprend également une variété de caractéristiques de mesure d'épaisseur de film et de capacités d'analyse de données pour une gamme de types et de technologies de plaquettes. Enfin, l'équipement est équipé d'une suite complète d'analyse de données qui dispose des outils avancés pour analyser à la fois l'imagerie et les données de métrologie disponibles. Cet ensemble d'outils combine une visualisation puissante avec des données statistiques complètes et une analyse des caractéristiques, permettant aux utilisateurs d'identifier rapidement les tendances locales et mondiales des processus. Avec ses capacités puissantes et intégrées, PROMETRIX RS 75 wafer testing and metrology system est une solution idéale pour les processus modernes de caractérisation, de validation et de contrôle de la qualité des semi-conducteurs.