Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9097164 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre des capacités supérieures d'inspection de surface et de détection de défauts pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système est la solution idéale pour le test de production de plaquettes, fournissant aux utilisateurs des résultats de test fiables et précis. KLA RS75 dispose d'une plate-forme de manutention de plaquettes qui supporte jusqu'à 5 pouces de plaquettes jusqu'à 6 pouces dans la taille. Cela permet d'utiliser l'unité dans une gamme de configurations de test de produit. La plaquette est inspectée à l'aide d'une combinaison de techniques optiques et électriques. Un tableau d'imagerie de 4 pouces par 4 pouces est utilisé pour l'imagerie optique des plaquettes et les essais électriques utilisent des configurations de capteurs spécifiques pour détecter les pannes de produits et de processus. TENCOR RS 75 utilise des techniques automatisées d'acquisition de données, avec une imagerie de surface des plaquettes et des tests de fiabilité fournis en un seul passage. Cela comprend le balayage des défauts de topologie de surface, la contamination, les dépôts et les vides, ainsi que l'analyse des défaillances de l'appareil. L'outil supporte également une large gamme de mesures de défauts, tels que la hauteur de défaut, le pas de défaut, la profondeur des défauts, et les dimensions de défaut min/max. L'actif est intégré à un bras robotique pour la manutention des plaquettes et peut être utilisé pour l'inspection des plaquettes et la métrologie. Le bras robotique a une plage de mouvements de précision de +/-0,02 millimètres et peut atteindre les dispositifs environnants pour la lithographie et la gestion des rendements. De plus, la répétabilité et la précision du modèle spécifient un maximum de +/-0,1 millimètre lors de la mesure sur un niveau de 0,2 micron. RS75 dispose également de systèmes de contrôle du matériel et des logiciels avancés pour assurer la stabilité de l'équipement tout au long du processus. Cela comprend une vitesse d'acquisition de données de 42 millisecondes par pixel, une capture d'image manuelle et automatique, et des capacités avancées de traitement des formes d'onde. En outre, le système peut être relié à d'autres systèmes pour soutenir l'analyse en temps réel et le datalogage des résultats de mesure. PROMETRIX RS-75 est la solution idéale pour les essais de production de semi-conducteurs, fournissant des résultats fiables, précis et reproductibles. Avec des systèmes de contrôle du matériel et des logiciels avancés, cette unité offre des capacités supérieures d'inspection de surface et de détection des défauts pour garantir des résultats de la plus haute qualité.