Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9153014 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9153014
Taille de la plaquette: 2"-8"
Style Vintage: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Handler:
Desktop
Without wafer transfer handler
Pentium Pro 150 MHz Computer
64M DRAM
High resolution LCD color monitor, 15"
Hard Disk Drive (HDD): 200M
Diskette drive, 3.5"
Capacity: 1.44 MB
Data transfer: SECS II / RS232 Communication
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 Sites programmable (ASTM Standard tests included)
Contour / 3-D Map, diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 sites programmable
Probe qualification: 20 Sites
Single / Dual configuration options
Analysis capabilities:
Contour, XY Die, 3-D surface maps
Diameter scan
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing and data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference and ratio maps
Measurement specifications:
Range: 5 mΩ/sq - 5 mΩ/sq
Typical measurement time: 1.2 sec per test site
Based on NIST (NBS) standard wafers corrected to 23°C
Repeatability: <0.2% (1 Sigma)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision. Le système a une précision de mesure avancée de 0,2 nanomètres, ce qui le rend idéal pour les besoins de caractérisation des plaquettes. Il fournit également des capacités d'imagerie pour les mesures de forme plate et 3D. L'unité est composée d'un logiciel puissant conçu pour gérer tous les différents composants, permettre aux utilisateurs de configurer leurs paramètres de machine, et d'intégrer avec KLA des solutions avancées de métrologie et de test. La suite logicielle se compose de divers modules qui permettent aux utilisateurs de faire des étalonnages, d'analyser des données et de créer des rapports. KLA RS75 est équipé d'un outil de vision propriétaire, qui comprend un syntoniseur de mise au point intégré offrant un réglage automatisé de la mise au point et un contrôle optimisé de l'exposition de la caméra. Ce capteur utilise un réseau de photosites à haute résolution 2048-by-1536 pour capturer des images de l'échantillon. De plus, il dispose d'un atout autofocus avancé, qui permet au modèle d'ajuster automatiquement le plan de focalisation pendant que le spécimen est présenté à l'équipement de vision. TENCOR RS 75 est également intégré avec une fonction d'auto-échantillonnage automatisé qui permet aux utilisateurs de basculer rapidement entre les mesures des plaquettes. En utilisant un ASIC haute résolution et un moteur haute vitesse, le système permet aux spécimens de se déplacer à des vitesses de 1 000 mm/seconde. Cela permet aux utilisateurs de minimiser la chronologie des tests et de maximiser les résultats. L'unité est livrée avec une variété de sondes et de capteurs. L'intégration temporelle (IDT) fournit une capacité critique de mesure sans contact de quantités maximales pour mesurer la hauteur, la largeur et la profondeur d'une caractéristique. Il dispose également d'une machine à optique variable qui permet aux utilisateurs d'ajuster l'agrandissement du zoom des images capturées par l'outil TDI, fournissant une image 3D détaillée. En outre, l'actif comprend également une grande variété de systèmes de vision pour des applications allant de la cartographie à la détection de bord. Il dispose également d'une grande variété d'outils d'inspection, allant des tests de fin de ligne à la détection des défauts des plaquettes. Avec une interface utilisateur améliorée, des contrôles conviviaux et des capacités d'analyse puissantes, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75 est idéal pour les projets les plus exigeants.
Il n'y a pas encore de critiques