Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 Wafer Testing and Metrology Equipment est une solution entièrement automatisée à haut débit conçue pour répondre aux exigences difficiles du processus de semi-conducteur et de la caractérisation des dispositifs. KLA RS75 offre un ensemble intégré d'outils de métrologie optique, y compris la mesure des dimensions critiques (CD), la mesure de la forme des plaquettes (WS), la mesure de la texture de surface (ST) et le contrôle des processus. TENCOR RS 75 fonctionne en dirigeant des lasers à travers la plaquette et en recueillant des points de données via un miroir pyramidal. Ce système de balayage optique avancé est capable de mesurer jusqu'à des résolutions de sous-microns. Le sous-système optique robuste est combiné à une plate-forme automatisée de manutention des matériaux qui supporte et déplace la plaquette à différents endroits pour une analyse plus approfondie. De plus, l'unité utilise des techniques d'alignement et de positionnement de pointe qui offrent une répétabilité sous microns. Équipé d'un logiciel d'analyse avancé, TENCOR RS75 permet de collecter rapidement un large éventail de caractéristiques et de générer des cartes et des graphiques 3D complexes. Cette machine très précise fournit des résultats de mesure précis et reproductibles en une fraction du temps par rapport aux techniques manuelles traditionnelles. Utilisé dans les fabs du monde entier, RS75 est utilisé pour identifier les excursions potentielles de processus avant qu'elles ne se traduisent par une perte de rendement. L'information sur le processus en temps réel permet un contrôle proactif de la collecte de données et de l'analyse subséquente, ce qui réduit considérablement le temps nécessaire pour identifier et caractériser les excursions potentielles du processus. Avec son débit élevé, son retournement rapide et son niveau supérieur d'intégrité des données, PROMETRIX RS75 offre une excellente solution pour mesurer les plaquettes pour le contrôle des processus et la caractérisation des appareils.