Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 est un équipement d'essai et de métrologie automatisé haut de gamme conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs en pleine croissance. Ses caractéristiques comprennent un détecteur multi-axes de haute précision qui est capable d'inspecter jusqu'à 16 plaquettes simultanément. Le système dispose d'une capacité d'inspection et de métrologie haute résolution, avec la possibilité d'une plus grande résolution du côté de l'inspection et une plus grande précision du côté de la métrologie. KLA RS75 est équipé d'un grand étage en anneau qui supporte une variété de tailles de plaquettes allant de 200mm, avec une vitesse de rotation maximale de 24 tr/min et une vitesse de balayage maximale de 13,7 mm/s. Le détecteur possède une intelligence intégrée et est capable d'identifier automatiquement les défauts. En termes de capacités de mesure, TENCOR RS 75 est équipé d'une unité multi-axes très sensible et d'un réseau de 33 détecteurs à tube photomultiplicateur. Cette machine fournit des capacités de détection avec une plage de grossissement de 1X à 4000X. L'outil est capable de mesurer plusieurs paramètres tels que la topographie de surface, la densité de particules, la largeur de ligne, la planéité de surface, les paramètres optiques, la dimension CD/x/y, le contraste et la rugosité ligne-bord/espace, ainsi que les dimensions critiques pour les piles de circuits 3D et de paquets. En outre, l'actif dispose également d'un logiciel de reconnaissance de motifs qui, lorsqu'il est utilisé en combinaison avec son modèle de mesure multi-axes, fournit des résultats rapides et précis. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75 utilise une variété de technologies pour garantir une précision et une répétabilité élevées, y compris l'étalonnage automatique de la surface de l'étage, la détection d'auto-focus et des algorithmes avancés pour la mesure de la largeur de la ligne et la reconnaissance des motifs. Il dispose également de plusieurs boucliers physiques pour minimiser le bruit de l'équipement et d'un compteur de particules intégré pour capturer les données de contamination de la salle blanche et des échantillons. Le système est également capable de stocker jusqu'à 2 millions d'images pour l'inspection et l'analyse des données passées et présentes pour l'amélioration du rendement, l'analyse des causes profondes et l'épuration des matériaux. En plus de ses capacités polyvalentes de test et de métrologie, TENCOR RS75 offre également une gamme complète de logiciels. Sa gamme complète de logiciels offre une programmation avancée, une configuration de mesure, un traitement de données et des capacités d'analyse. Il comprend également des logiciels de visualisation et d'analyse de plaquettes, de superposition d'images multiples et de comparaison d'ensembles de données. Ce logiciel est conçu pour donner aux ingénieurs la capacité d'examiner les données rapidement et avec précision et d'effectuer des analyses en temps réel. De plus, dans le cadre de l'emballage, RS 75 comprend une boîte à outils d'applications de contrôle de processus orientées vers des besoins de fabrication de semi-conducteurs, tels que le balayage et l'accès rapide à des paramètres de processus critiques. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75 est une solution idéale pour l'essai de plaquettes de haute précision et la métrologie pour une variété d'applications, y compris les dispositifs haute performance et la direction de faisceau MEMS. Son détecteur sophistiqué fournit une unité d'analyse haute résolution, tandis que ses outils intégrés de mesure et de traitement des données permettent aux ingénieurs d'analyser rapidement et avec précision les mesures et d'accéder aux paramètres critiques du processus. Grâce à sa capacité à stocker de grandes quantités de données et à sa gamme complète de logiciels, PROMETRIX RS 75 offre une solution tout-en-un pour le test des plaquettes et la métrologie.