Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #139117 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200
ID: 139117
Taille de la plaquette: 8"
Thin film measurement system, 8" Un-patterned wafers C2C handler 2mm size spot Printer: 3-D Plots Diameter scans.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre un ensemble complet de capacités de métrologie et d'inspection, y compris la métrologie optique et la métrologie de surface. Le système combine une unité d'imagerie optoélectronique intégrée, un logiciel de pointe et une architecture matérielle pour fournir des mesures automatisées d'inspection et de métrologie à haut débit. En outre, la machine dispose d'un environnement piloté par le logiciel pour un fonctionnement simplifié, un débit de données maximisé et un accès convivial aux données, ressources et fonctionnalités. L'instrument est conçu pour des applications telles que la détection des défauts, le calibrage des caractéristiques, la contrainte du film, la mesure des dimensions critiques, l'inspection des bords et le marquage des plaquettes. La KLA SM 200 offre des capacités both2D et 3Dmetrology conçues pour répondre aux besoins de nombreux processus de fabrication et de test de plaquettes. L'instrument utilise l'imagerie de pointe et la technologie optique pour augmenter la précision, la fiabilité et le débit. Une source lumineuse LED intégrée et un séparateur de faisceau polarisé fournissent un éclairage optimal pour la détection optimale des défauts. De plus, l'outil offre le Flex-LW, un outil d'alignement laser à balayage qui fonctionne avec TENCOR SM 200 pour fournir une méthode automatisée d'alignement et de réglage des plaquettes en temps réel. SM 200 offre un ensemble complet d'outils et de paramètres pour personnaliser les procédures de test et l'analyse de métrologie. Un langage de script intégré basé sur des règles aide à automatiser le fonctionnement de l'actif, ce qui facilite la personnalisation des tests pour répondre aux exigences spécifiques des processus. Une structure d'interface utilisateur dédiée donne accès à tous les paramètres et paramètres nécessaires pour personnaliser les tests. PROMETRIX SM 200 propose également de puissants outils et moteurs d'analyse permettant l'analyse et l'interprétation des données de métrologie. Les capacités d'analyse d'image du modèle comprennent le contrôle statistique des processus, les algorithmes autofocus et les algorithmes de traitement d'image pour le dimensionnement automatisé des fonctionnalités, la reconnaissance des défauts et l'imagerie haute résolution. L'instrument est bien adapté à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs, y compris l'amélioration du rendement, l'amélioration des procédés et l'analyse des défauts. KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200 est hautement compatible avec les logiciels standard de l'industrie, ce qui facilite l'intégration avec d'autres logiciels de visualisation, d'analyse et de reporting de données. L'instrument peut également être utilisé dans le cadre d'un processus intégré d'assurance de la qualité (AQ) ou comme équipement autonome pour des applications d'essai et de mesure.
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