Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #293587919 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes entièrement intégré conçu pour mesurer rapidement une variété de caractéristiques électriques, optiques, physiques et chimiques des plaquettes de dispositifs semi-conducteurs. KLA SpectraMap SM 300 est un outil puissant pour l'environnement de production, offrant un haut degré de précision et de précision dans les mesures, la flexibilité, l'automatisation sophistiquée, et de faibles coûts d'exploitation. Le système recueille des données à l'aide de transducteurs photoniques au silicium sur un large éventail de matériaux, permettant de mesurer efficacement les caractéristiques optiques, électriques, chimiques et physiques des couches minces. L'unité est également capable de cartographier en 2D et 3D des caractéristiques électriques telles que la résistance des tôles, la densité du courant, les courants de fuite, le claquage diélectrique, la passivation de surface et plus encore. TENCOR SpectraMap SM 300 permet de détecter de très petites caractéristiques, même à faible rapport signal/bruit, ce qui permet d'améliorer l'inspection et la caractérisation des défauts. PROMETRIX SpectraMap SM 300 offre d'excellentes performances dans une gamme de matériaux incluant le silicium, le nitrure de gallium, l'arséniure de gallium, le silicium germanium, ainsi que de nombreux autres types de matériaux. La machine peut mesurer des caractéristiques électriques telles que la tension, le courant, les caractéristiques I-V, la charge, le dopage, la concentration de dopage, la décomposition diélectrique et le courant de saturation sombre. Il peut également mesurer des propriétés optiques telles que l'épaisseur, l'indice de réfraction, l'écart de bande, la longueur d'absorption et des propriétés mécaniques telles que la rugosité de surface, la propreté de surface et la résistance à l'adhérence. Pour garantir la précision des mesures, l'outil est conçu avec un certain nombre de fonctionnalités avancées. Il s'agit notamment d'une unité de couplage DFIS (Direct Focus Image Sensor) permettant une résolution au niveau du nanomètre sur des matériaux amorphes et cristallins. L'actif comprend également un logiciel de métrologie semi-conductrice avancée (ASM) pour la reconnaissance automatisée des fonctionnalités et l'analyse des résultats, un modèle de gestion des données pour faciliter la récupération des données et une source de faible tension de dérive pour réduire la variabilité électrique. Enfin, l'équipement dispose d'une large gamme d'accessoires et de sondes, ainsi que de commandes informatiques embarquées, assurant une performance optimale à chaque fois. Dans l'ensemble, SpectraMap SM 300 est un système avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer rapidement et avec précision une large gamme de caractéristiques électriques, optiques, physiques et chimiques des plaquettes de dispositifs semi-conducteurs. Son ingénierie intelligente et son automatisation sophistiquée en font une option idéale pour les environnements de production, permettant une collecte de données rapide et fiable et une analyse complète.
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