Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #9204663 à vendre en France

ID: 9204663
Film thickness mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie. Il fournit des informations exactes en temps réel sur les mesures de surface des plaquettes avec une résolution sous-nanométrique. Sa conception offre des capacités de métrologie avancées et des performances de mesure améliorées pour la détection des défauts de plaquettes et la gestion du rendement en ligne. Le système est capable d'inspecter tout, des étapes de processus classiques aux techniques de lithographie inverse 3D les plus avancées. Il est conçu pour optimiser diverses étapes de processus pour des motifs de plaquettes complexes. Des caractéristiques telles que des vitesses d'acquisition variables, une cartographie de focalisation automatisée et une adaptation automatique optimisent les mesures de surface et de topographie des topologies de plaquettes planarisées ou non. KLA SpectraMap SM 300 utilise des conceptions et des algorithmes exclusifs pour réaliser la détection automatisée des mésa, la détection des coins et d'autres formes d'analyse et de caractérisation des défauts des plaquettes. L'unité prend également en charge une grande variété de modes d'inspection, y compris l'étape et la répétition, l'analyse de zone, l'automatique et le manuel. La machine offre une gamme complète de capacités de test de métrologie, permettant à l'utilisateur d'analyser rapidement les surfaces des plaquettes. Grâce à son traitement optique rapide, l'outil permet une cartographie rapide et précise de la hauteur, de l'épaisseur, de la topographie de surface et des propriétés des matériaux de plaquettes. Il est capable de détecter, localiser et classer rapidement des structures étrangères, telles que des irrégularités sur les surfaces supérieure et inférieure de la plaquette. L'actif a automatisé SR3D (la Structure En temps réel 3D) le mode D'inspection peut découvrir des types différents de défauts et de caractéristiques à un taux beaucoup plus rapide que les méthodes traditionnelles. Le modèle est également capable de fournir un examen des défauts en temps réel, archivant automatiquement les résultats et les images, ainsi que l'analyse chimique et physique. TENCOR SPECTRAMAP SM300 est un équipement très fiable et économique avec d'excellentes performances. Sa conception polyvalente permet d'intégrer une gamme de fonctionnalités supplémentaires, telles que l'inspection du faisceau électronique et l'imagerie nanofocale. Avec ses fonctionnalités avancées et ses capacités de métrologie, le système fournit des solutions parfaites d'inspection et de métrologie des plaquettes en temps réel.
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