Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293594487 à vendre en France

ID: 293594487
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 est un équipement avancé d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour optimiser l'inspection et la métrologie des plaquettes semi-conductrices. Le système UV 1050 de KLA combine des technologies basées sur le laser et d'autres technologies telles que la spectroscopie pour permettre la métrologie de précision. Il est conçu pour aider à réduire le coût de propriété et optimiser les coûts du cycle de vie. L'unité peut être utilisée pour l'inspection des plaquettes, la métrologie, l'échantillonnage et la surveillance du rendement. La machine TENCOR UV-1050 intègre un interféromètre laser qui fournit une mesure haute résolution de la planéité de surface. Un spectromètre multi-longueurs d'onde est incorporé pour obtenir des mesures de réflectivité optique de haute précision, d'orientation de surface et de rugosité de surface. Il peut être utilisé pour mesurer l'intensité réfléchie locale sur des échantillons de topographie et des plaquettes. Un outil d'imagerie à grille de polarisation est également inclus, permettant des mesures simultanées de réflectivité de surface et d'orientation de surface. L'actif utilise également l'automatisation pour fournir un haut débit et reproductibilité. Il est également équipé de logiciels avancés d'analyse d'image, qui peuvent mesurer avec précision la topographie planaire et non-planaire sur les plaquettes. Cela se fait par des images d'ondes avec des effets d'éclairage minimisés et une meilleure suppression du bruit. PROMETRIX UV-1050 est livré avec des capacités de métrologie et d'inspection avancées, y compris la métrologie en ligne et l'analyse des défaillances. Il peut fournir des informations détaillées sur les attributs critiques d'une plaquette tels que la forme, la réflectivité, la rugosité de la surface, la topologie des défauts et l'orientation de la surface. De plus, l'équipement peut effectuer de multiples mesures sur toute la surface de la tablette, soit rapidement, soit en utilisant des scans étape par étape pour améliorer la précision. Le système KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050 fournit également une isolation, une classification et une analyse avancées des défauts. Il peut s'agir d'une analyse statique et dynamique des défaillances, d'une détection spatiale des défauts et d'une détection indépendante des matériaux. Ces caractéristiques font de PROMETRIX UV 1050 une unité idéale pour le test et la métrologie rapides et précis des plaquettes.
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