Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293811723 à vendre en France
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ID: 293811723
Film thickness measurement system
Stage resolution: xy - 0.25µm, z - 0.025µm
Imaging system: color camera
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour l'analyse dimensionnelle de haute précision des plaquettes semi-conductrices. C'est un système polyvalent et performant qui fournit des mesures rapides et précises avec des résultats reproductibles. L'unité fonctionne en utilisant une combinaison de techniques de balayage optique, interférométrique et motorisé pour analyser les caractéristiques des plaquettes. Plus précisément, il utilise une source de lumière laser proche infrarouge pour les mesures de diffraction, l'interférométrie pour mesurer de minuscules caractéristiques, et un étage de balayage motorisé pour de plus grandes caractéristiques. La source de lumière laser émet un large spectre de lumière, qui est ensuite focalisé à travers une série d'ouvertures et de lentilles. Il est finalement focalisé sur la surface de la plaquette. Cette lumière crée un motif d'interférence qui est ensuite utilisé pour mesurer la forme et la taille des structures trouvées sur la surface de la plaquette. La machine est également équipée d'un interféromètre à faible cohérence qui est utilisé pour mesurer les caractéristiques microscopiques telles que les fosses et les marches. Cette mesure interférométrique est basée sur le principe du déphasage : la lumière réfléchie de la caractéristique est mesurée et comparée à la phase de départ. La différence entre les deux valeurs est proportionnelle à la taille réelle de la caractéristique. Enfin, l'outil comprend un étage de balayage motorisé, qui permet de mesurer avec précision des caractéristiques plus importantes. L'étape de balayage déplace l'échantillon de manière contrôlée, tout en effectuant plusieurs mesures et en les combinant pour obtenir des résultats plus précis. Ces trois techniques de mesure se combinent pour fournir une analyse complète des caractéristiques des plaquettes, permettant aux utilisateurs de déterminer la forme, la taille, l'emplacement, la topographie de surface et plus encore. KLA UV 1050 est capable de mesurer des caractéristiques jusqu'à 5 nanomètres de taille, lui permettant d'analyser les plaquettes les plus difficiles. En plus de ses capacités de mesure supérieures, l'actif offre également une gamme d'avantages. Il est équipé d'un modèle de commande de mouvement robuste qui fournit un balayage rapide et une grande précision, ce qui le rend adapté pour des mesures à haut débit. Il dispose également d'un palier à air en boucle fermée qui assure la stabilité de l'échantillon, contribuant à réduire les erreurs et à améliorer la précision. Dans l'ensemble, TENCOR UV-1050 est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit un moyen rapide et fiable d'analyser les plaquettes semi-conductrices. Avec sa combinaison de techniques de balayage optique, interférométrique et motorisé, il est un choix idéal pour une gamme d'applications.
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