Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9031773 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des résultats d'essai et de mesure rapides, précis et fiables. Il est conçu pour soutenir les essais et la métrologie basés sur les résultats, ou « OIM », fournissant une optimisation rigoureuse du rendement et l'assurance de la capacité pour une variété de technologies de processus, y compris la lithographie, le dépôt, la gravure, la planarisation et la métrologie post-processus. KLA UV 1050 comprend une chambre de métrologie à faible vide (LV) pour l'imagerie 2D à haute résolution, le balayage de profil 3D et la métrologie d'indice de réfraction (RI). Le système comprend également une source de lumière ultra-violette pour les applications de photorésistance et autres applications d'imagerie de surface de plaquettes. La chambre LV est optimisée pour l'imagerie de plaquettes à motifs, et peut mesurer avec précision les dimensions critiques (CD) pour une variété de tâches de métrologie de CD. L'unité est conçue pour fonctionner de manière fiable dans des environnements de fabrication difficiles et peut faire face à la variation des températures, des pressions et des profils d'accélération. TENCOR UV-1050 comprend également une technique brevetée de Calibration Standard (CALIBRATE) et de Slope Matching (SLO-MATCH), qui permet une caractérisation rapide et précise de différents aspects de la qualité et de la performance des produits, et est capable d'effectuer plusieurs mesures de CD avec une seule excursion. Cela permet une évaluation complète et continue de la qualité dans les chambres de processus à haut débit. La machine peut être équipée d'une large gamme de composants optionnels qui facilitent l'acquisition et l'analyse de données améliorées. Ils comprennent divers modules de correction de linéarité, des algorithmes avancés de compensation de dérive et diverses options de sélection de sondes, y compris des sondes de contact, des sondes de balayage et des sondes sans contact. En outre, l'outil supporte également les connexions de source et de détecteur avancées, et est compatible avec les logiciels les plus à jour de masque, de plaquette, de film et de réticule. KLA UV-1050 est conforme aux normes d'essai les plus populaires de l'industrie, y compris SEMI, ISO, et MIL-Standard costume d'essai. En tant que tel, l'actif peut être utilisé dans diverses industries, telles que les industries des semi-conducteurs, de la microélectronique et de l'aérospatiale. Ce modèle donne aux utilisateurs une source de test unique pour toutes les principales technologies de processus, et élimine le besoin de sources de test et de matériel dédiés. En tant que tel, il aide à rationaliser le processus de production et à réduire les coûts.