Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564 à vendre en France
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ID: 9182564
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8"
Handling robot: H2
Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm
Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm)
Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System)
PC: Intel P3 450MHz
OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0
SECS II Interface
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est conçu pour fournir des mesures fiables et répétables des plaquettes minces et ultra-minces. Il est capable de mesurer divers paramètres tels que la résistivité, l'épaisseur, la topographie et la composition. Ce système utilise la technologie du microscope électronique à balayage (SEM) et une gamme de détecteurs pour mesurer avec précision la métrologie et les propriétés électriques des échantillons minces et ultra-minces. Divers outils de sous-échantillonnage sont disponibles pour mesurer un éventail de paramètres, y compris la résistivité, la topographie et la puissance. L'unité est équipée d'un balayage XY haute vitesse variable pour réduire le temps de test, et d'une plate-forme angulaire variable avec une taille de pas variable. La plate-forme angulaire est capable de sélectionner différents angles et de créer ainsi des cartes topographiques plus détaillées. La machine dispose également de deux caméras à grossissement variable, permettant aux utilisateurs de zoomer sur les détails de différentes zones. KLA UV 1050 est également équipé d'un microscope, conçu pour fournir aux utilisateurs des images très détaillées d'un échantillon. De plus, l'outil offre également des capacités de spectroscopie, permettant de prendre toute une gamme de mesures. Cet actif est capable de mesurer des plaquettes minces et ultra-minces d'une épaisseur pouvant atteindre 500 nm. Le modèle offre également un thermocouple intégré qui peut être utilisé pour mesurer la température. La sortie du thermocouple est convertie en un signal d'amplitude ou de fréquence, qui sert à son tour à effectuer les mesures. Avec sa gamme de capacités de mesure, TENCOR UV-1050 est un excellent outil pour les chercheurs et les laboratoires qui souhaitent des mesures répétables et fiables. En outre, l'équipement offre un haut niveau de flexibilité, permettant aux utilisateurs de choisir le meilleur outil pour le travail. En tant que tel, il est un outil essentiel pour ceux qui ont besoin de mesures de précision de plaquettes minces et ultra-minces.
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