Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9310905 à vendre en France
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ID: 9310905
Thin film measurement system
Amorphous silicon
Oxide on aluminum
Oxide on tungsten
Transparent on transparent
Oxide on poly
Thickness range:
125 A to 250 A ±2.5 A
250A to 1.0 µm i1%
Throughput:
(90) Monitor wafers per hour, 8"
(75) Pattered wafers per hour, 8"
Pre-programmed focus
(39) Patterned wafers per hour, 8" auto focus
Absolute accuracy:
Measurement time: 1.5-5 seconds typical per site
Mapping:
Die, Contour, 3-D.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 Equipment est une solution de test et de métrologie des plaquettes de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs. Le système fournit les dernières technologies pour l'inspection des défauts, l'épaisseur et la métrologie des fonctionnalités, et la gestion des processus. L'unité UV 1050 de KLA comprend une série de technologies, de logiciels et de services exclusifs et de pointe de l'industrie, fournissant une solution intégrée conçue pour un débit de plaquettes élevé et des temps d'arrêt réduits. La machine TENCOR UV-1050 intègre des technologies de pointe telles qu'un outil d'imagerie CCD 2x2, une caméra CCD à ultra faible bruit et résolution, des systèmes d'éclairage avancés, une fluoroscopie et un contrôle de processus basé sur PC. Cet actif est spécifiquement conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs. Le modèle est également équipé d'une variété d'options telles que l'alignement et l'imagerie automatisés, une étape d'imagerie manuelle, le contrôle automatisé des processus et la gestion des recettes, et d'autres fonctionnalités avancées. De plus, l'équipement permet son intégration avec d'autres équipements tels que la métrologie, le nettoyage, l'inspection des défauts et les systèmes de dépôt. Le système PROMETRIX UV-1050 comprend également une unité d'éclairage d'inspection UV avancée qui est conçue pour un débit de plaquettes élevé tout en conservant une sensibilité au bruit ultra faible. Cette machine assure un positionnement précis des défauts et une inspection du masque tout en compensant les irradiations inégales sur la surface de la plaquette. En outre, l'outil fournit un éclairage précis, la mesure des pertes dépendantes de l'angle, et la capacité d'automatisation flexible pour l'alignement manuel des plaquettes dans les actifs. Le modèle KLA UV-1050 offre des capacités d'inspection des défauts à haut débit avec une intégration de la table cible et des techniques de traitement d'image. L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050 dispose également d'un système innovant d'uniformité des plaquettes pour garantir des mesures de métrologie précises. Cette unité est spécifiquement conçue pour mesurer l'uniformité des caractéristiques, la sensibilité aux défauts et les mesures de dimensions critiques le long de toutes les parties de la surface de la plaquette. De plus, la machine utilise un certain nombre d'algorithmes propriétaires pour augmenter la précision de détection des défauts, minimiser les fausses détections et éliminer les défauts possibles. Dans l'ensemble, TENCOR UV 1050 Tool est une solution complète d'essai de plaquettes et de métrologie conçue pour répondre aux exigences les plus rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs. Il intègre à la fois des technologies de pointe de l'industrie et des technologies exclusives pour fournir des capacités précises et à haut débit d'inspection des défauts. De plus, il fournit des techniques avancées d'alignement et de traitement d'image, ainsi que des systèmes d'uniformité des plaquettes pour permettre une mesure précise de l'uniformité des caractéristiques et des mesures des dimensions critiques.
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