Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9115152 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080 « wafer testing and metrology » est un outil de haute précision et de haute vitesse qui combine les technologies avancées de mesure de couche optique, d'imagerie de profil de surface 3D, de scatterométrie intégrée et de fluorescence X à réflexion totale (TXRF) en un ensemble simplifié. La plate-forme de mesure de couche optique intégrée utilise des technologies d'imagerie avancées pour mesurer avec précision l'épaisseur de couche, la composition, l'indice de réfraction et la texture de surface des piles et plaquettes semi-conductrices. Les technologies combinées d'imagerie de profil de surface 3D et de scatterométrie intégrée permettent à KLA UV 1080 de mesurer des paramètres tels que la rugosité de surface mesurée optiquement, la forme et la texture des piles de semi-conducteurs. La technologie TXRF mesure les éléments de la plaquette et de la pile, et les résultats de mesure complets comprennent la composition élémentaire et la quantité d'éléments. Cela permet de comparer à la spécification souhaitée. L'avantage de l'unité TENCOR UV-1080 est qu'elle est capable de détecter et de distinguer de très petites variations d'épaisseurs de couches et de textures de surface par rapport à d'autres méthodes, telles que la diffusion de la lumière. La combinaison de ces technologies dans la machine PROMETRIX UV-1080 permet de combiner la vitesse et la précision associées à l'analyse de surface. Cela permet une rétroaction en temps réel tout en développant des piles de semi-conducteurs extrêmement précises. Le logiciel intégré de scatterométrie intègre des capacités d'IA pour produire une gamme de spectres pour une lecture optimale des informations mesurées. L'outil dispose d'une caméra haute résolution et d'un outil automatisé de manipulation des échantillons, qui permettent de prendre des mesures à proximité du champ et du champ lointain. En combinaison avec la mesure de couche optique, le modèle KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080 est adapté à un large éventail d'applications, telles que le développement et la caractérisation de processus de plaquettes, les mesures de largeur de ligne, la caractérisation de l'uniformité, les mesures de profondeur de coupe/gravure et l'inspection des défauts. L'équipement KLA UV-1080 est un outil fiable et puissant pour effectuer des mesures de haute qualité pour les piles de semi-conducteurs et les applications de plaquettes. La combinaison de technologies de pointe, la précision et la vitesse permettent une analyse de surface efficace et précise pendant le développement des plaquettes et des piles.