Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250 #9312897 à vendre en France

ID: 9312897
Measurement system.
L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250 Wafer Testing and Metrology est un outil puissant pour l'inspection des circuits intégrés sur une seule plaquette. Il est capable d'échantillonner jusqu'à 1250 emplacements individuels sur chaque plaquette, ce qui permet une analyse très précise sur un large éventail de paramètres. La composante critique du système est sa source de lumière ultra-violette, qui utilise à la fois le couplage par fluorescence induit par laser (LFF) et le couplage par autofluorescence (AFM). Plus précisément, l'unité utilise des photons d'un spectre UV pour exciter et examiner des caractéristiques et des caractéristiques à la surface de la plaquette. Grâce au LFF, la machine est capable de déterminer l'épaisseur des couches minces isolantes en surface. Ces informations sont ensuite utilisées pour identifier la présence ou l'absence de défauts potentiels, zones dites « sans défaut ». L'outil offre également d'excellentes options optiques troposphériques réglables par l'utilisateur. Ces paramètres sont utilisés pour aider à réduire les réflexions de surface, optimiser le contraste de l'image sur la plaquette et mieux quantifier les caractéristiques sur la plaquette. Pendant ce temps, l'agencement optique automatisé permet une optimisation rapide de l'angle d'éclairage et de la distance de travail, de sorte que seul un réglage minimal des éléments optiques est nécessaire pour une performance optimale sur toute la surface de la plaquette. En plus des composants optiques, l'actif utilise également un étage automatisé, mandrin de plaquette motorisé, et contrôleur de mouvement. Cette combinaison de matériel garantit que la plaquette est toujours positionnée de manière optimale pour la mesure, puisque la plaquette entière reste stationnaire pendant que le microscope la parcourt. En outre, le mandrin de la plaquette est spécialement conçu pour éviter toute vibration ou désalignement pendant le processus de balayage. Enfin, le modèle comprend un logiciel d'imagerie spectrale, capable d'une gamme d'analyse d'image. Cela comprend le piquage d'image 2D, l'enregistrement de sous-pixels et la classification des défauts basée sur l'image. Cette analyse permet une analyse de précision jusqu'au niveau micron, permettant une analyse très précise des performances des plaquettes. En conclusion, l'équipement KLA UV 1250 Wafer Testing and Metrology est un outil indispensable pour les tests de wafer, offrant une précision et une résolution inégalées. Avec sa combinaison de lasers, d'éléments optiques, d'étage automatisé et de logiciels spécialisés, le système permet une analyse très détaillée des circuits intégrés sur une seule plaquette.
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