Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077 à vendre en France

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ID: 9013077
Wafer inspection system, 8" SMIF 2001 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe qui peut être utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de l'optique. KLA UV-1280SE est conçu pour un large éventail d'applications, telles que l'inspection diélectrique et topographique, la métrologie électrique, l'inspection optique, la lithographie positive et les mesures en couches minces. TENCOR UV 1280 SE dispose d'une plate-forme optique améliorée par le champ, permettant de mesurer avec précision une variété de matériaux, indépendamment de la réflectivité ou de la polarisation. PROMETRIX UV 1280 SE est capable de collecter des données de métrologie 3D haute résolution, ainsi que des images simultanées de champ de vision. Il utilise un faisceau focalisé à haute énergie, des étages objectifs flottants et deux lignes à retard variables pour le placement et l'exposition de l'échantillon à des fins d'inspection. Cela permet une inspection et une détection précises de diverses caractéristiques sur la plaquette d'échantillon avec des dommages minimes aux structures en surface. Le système dispose également d'une gamme de capacités d'imagerie différentes, telles que l'imagerie en champ sombre, micropatterning, plusieurs balises, et des comparateurs optiques. Tous ces modes d'imagerie peuvent être combinés et utilisés pour étudier avec précision la structure de l'échantillon à plusieurs échelles. Les capacités d'imagerie de KLA UV 1280 SE sont combinées avec un logiciel de pointe qui est conçu pour identifier et mesurer les caractéristiques d'intérêt en temps rapide. KLA UV 1280SE dispose également d'instruments spécialisés sans contact pour la mesure de l'épaisseur du film. Il est équipé à la fois d'un spectromètre monochromateur et d'un laser multi-longueurs d'onde pour des mesures d'épaisseur précises et contrôlées. L'unité est équipée d'une large gamme d'angles incidents qui peuvent être utilisés pour mesurer l'épaisseur de chaque couche sur la plaquette d'échantillon. L'instrument peut mesurer des fentes privées ainsi que des structures hexagonales, à l'aide d'images photorésistantes. Globalement, PROMETRIX UV 1280SE est une machine à guichet unique pour effectuer un large éventail de tests de plaquettes avec précision et vitesse. Ses capacités d'imagerie avancées permettent des mesures 3D précises des caractéristiques nanométriques, tandis que ses instruments à angle variable sont parfaits pour mesurer l'épaisseur du film. En outre, sa fonction logicielle robuste permet des mesures efficaces et automatiques des emplacements cibles, ce qui en fait un outil précieux pour les industries semi-conductrices et optiques.
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