Occasion KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038 à vendre en France

ID: 293607038
Style Vintage: 2005
Darkfield inspection system 2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie développé par KLA. Ce système a été conçu pour fournir une gamme complète de solutions d'ingénierie des semi-conducteurs grâce à la mise en œuvre de technologies avancées de mesure et d'analyse des niveaux. L'unité est capable de fournir l'analyse et l'inspection en temps réel, ainsi que le contrôle des processus, pour assurer les meilleurs rendements de plaquettes et des conditions de fabrication optimales. La machine dispose d'une imagerie haute résolution pour l'inspection des plaquettes et la métrologie, ainsi que d'un logiciel avancé de reconnaissance des motifs pour la détection des défauts. Cela permet un contrôle complet du processus, de l'alignement initial des matrices à l'évaluation des performances optiques du produit final. Il fournit également un moyen efficace de produire des données à utiliser à des fins d'amélioration du rendement. Le KLA Puma 9000 offre une combinaison de vitesse et de précision optimales, avec un temps de fonctionnement et un débit optimisés. Cet outil est capable d'inspecter jusqu'à 25 plaquettes par heure avec une résolution inférieure à 1 micron. Il est équipé d'un étage à haut débit, sans contact, qui permet la mesure et l'analyse automatisées de plusieurs emplacements à travers la plaquette en un seul balayage. Les capacités d'imagerie de l'actif peuvent capturer des caractéristiques de plaquettes aussi petites que 0,3 microns à travers. TENCOR Puma 9000 est intégré aux systèmes de contrôle du processus hôte, permettant la collecte et l'analyse de données au niveau du module, de l'outil et du modèle. Cela permet une optimisation des processus à la volée, permettant aux fournisseurs d'augmenter le débit et de réagir rapidement aux changements de processus. En outre, l'équipement est compatible avec une gamme de recettes, assurant le transfert des algorithmes de détection des défauts adaptés et de contrôle des processus. Dans l'ensemble, Puma 9000 est une solution de test et de métrologie intégrée de plaquettes de haute performance. Il permet l'inspection automatisée et la métrologie des plaquettes en combinaison avec le contrôle de processus basé sur la recette. Ce système offre un meilleur contrôle des processus et des rendements, permettant une métrologie rapide et fiable et l'identification des défauts, conduisant à une plus grande précision et la répétabilité des résultats.
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