Occasion KLA / TENCOR Puma 9000 #9232234 à vendre en France
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ID: 9232234
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Darkfield inspection system, 12".
KLA/TENCOR Puma 9000 est une plate-forme d'essai et de métrologie de plaquettes conçue pour mesurer rapidement, avec précision et fiabilité les paramètres de plaquettes tels que la structure des dispositifs semi-conducteurs, l'uniformité et la topographie. L'équipement utilise des outils avancés d'imagerie au microscope électronique à balayage (SEM), d'inspection optique automatisée (AOI) et d'interférométrie laser (LI) pour produire des ensembles de données complets qui détaillent les performances de chaque appareil sur la plaquette. Il est idéal pour mesurer plusieurs caractéristiques en même temps et a le potentiel de réduire le temps nécessaire à l'analyse des plaquettes sans compromettre la précision ou la fiabilité. KLA Puma 9000 est conçu pour s'adapter à une variété de conditions, ce qui le rend idéal pour les environnements à haute ou basse température, ou où la poussière et les débris sont présents. Il est capable d'analyser des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et dispose d'une excellente gamme dynamique pour les images de haut détail et l'analyse des fonctionnalités. La plate-forme combine une variété de capteurs et d'électronique intégrée pour détecter des caractéristiques structurelles telles que la profondeur de gorge, le pas, la largeur de ligne, l'angle de ligne, le type de défaut, et plus encore. Le système utilise des algorithmes avancés pour classifier avec précision les caractéristiques et extraire les données, y compris la surface totale de défaut, la densité de défaut, la largeur moyenne, le pas, et de nombreux autres paramètres pour fournir une solution de données intégrées rapide et fiable. En outre, l'unité est équipée de capacités d'automatisation supérieures. Il utilise une machine embarquée d'inspection des particules et un détecteur de panneaux plats pour scanner les plaquettes de manière entièrement automatisée et peut être configuré pour inspecter individuellement des structures spécifiques ou coordonner un grand ensemble de points de saisie et d'analyse de données pour des besoins d'analyse à grande échelle. TENCOR Puma 9000 comprend des étages mécaniques commandés par logiciel pour le positionnement des échantillons et est disponible avec une option d'alignement de haute précision pour une excellente précision. Enfin, il comprend un blindage automatisé pour assurer une collecte de données fiable et peut être équipé d'une source de faisceau d'ions intégrée ou de connexions à fibre optique pour être intégré dans les plates-formes existantes. Puma 9000 est la solution idéale pour les tests de plaquettes et les tâches de métrologie. La plate-forme combine les microscopes électroniques à balayage, l'inspection optique automatisée et les technologies d'interférométrie laser en un seul paquet pour fournir une précision, une fiabilité et une vitesse sans précédent. Ses fonctionnalités d'automatisation et ses étapes mécaniques commandées par logiciel permettent des mesures précises et répétables de multiples caractéristiques sans intervention de l'opérateur. L'outil est conçu pour résister à des conditions environnementales difficiles et est capable de scanner des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. En résumé, KLA/TENCOR Puma 9000 est la principale solution d'essai et de métrologie des plaquettes.
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