Occasion KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157 à vendre en France
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Vendu
ID: 9184157
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Inspection system, 12"
Tool with (2) modules
Light source:UV laser
Laser wavelength:365nm
(2) Dark field Sensor
Select Mode:sL10,sL15,sL20,sL40,sL60,sL70
Currently stored in cleanroom
2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit une précision et des capacités de débit inégalées pour assurer le rendement et les rendements les plus élevés. Ce système combine inspection avancée des plaquettes avec métrologie automatisée pour identifier et mesurer les défauts présents sur la plaquette. KLA Puma 9000D offre une précision et une vitesse inégalées pour identifier et mesurer les défauts extrêmement petits sur les plaquettes de haute densité d'aujourd'hui. L'unité de métrologie automatisée de TENCOR PUMA 9000 D mesure avec précision et rapidité les caractéristiques sur une large zone de wafer, allant de 1µm à 5µm à des vitesses allant jusqu'à 2µm/seconde. Il mesure également un large éventail de caractéristiques sur la surface de la plaquette, y compris les CD, les largeurs de tangage et de ligne linéaires, les marches et les hauteurs de saillie. En termes d'imagerie, PUMA 9000 D offre des capacités d'imagerie haute définition avec un grand champ de vision pour aider à fournir un aperçu de chaque stature de défauts et vérifier la précision de la mesure. Il dispose d'un mode de vision multiple optionnel qui offre 480 images par seconde pour un grand champ de vision. Ses algorithmes avancés de traitement d'images détectent et mesurent avec précision les défauts des plaquettes, y compris les rayures, les particules et les dislocations. L'étage linéaire de haute précision de la machine offre également un niveau de précision de référence. Sa technologie d'entraînement de haute précision fournit une précision de niveau micron, permettant des mesures extrêmement précises. Avec son module Air Scanning, KLA PUMA 9000 D offre une gamme complète de capacités d'inspection pour les plus petits appareils d'aujourd'hui. En outre, son architecture ouverte et sa conception modulaire permettent une personnalisation facile et rentable et des mises à niveau de l'outil. Les capacités d'autofocus intégrées et le chargement et le suivi automatisés des plaquettes minimisent les exigences de compétence des opérateurs et permettent d'intégrer rapidement l'actif dans une chaîne de production. Pour garantir des résultats de la plus haute qualité, Puma 9000D fournit des fonctions complètes et intuitives de contrôle et de rapport de l'opérateur. Cela comprend un modèle automatisé de déclaration des défauts qui crée un rapport de chaque défaut et de son emplacement dans le modèle de la plaquette. Il offre également des options de contrôle global des défauts pour le contrôle intégré et simplifié des processus. TENCOR Puma 9000D offre une précision et une vitesse sans précédent qui sont essentielles pour répondre aux exigences de production d'aujourd'hui. Avec sa technologie d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe, KLA/TENCOR PUMA 9000 D offre une solution efficace pour garantir des plaquettes de haut rendement et de haute qualité.
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