Occasion KLA / TENCOR Puma 9000D #9406885 à vendre en France
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ID: 9406885
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Darkfield inspection system, 12"
EFEM: Dual FIMS (EFEM) with Phoenix handler
GEM, SECS and HSMS
4-Color signal light tower: R,Y,G,B
VANGUARD UV Laser head, 1W
Laser wavelength: 365nm
Selectable Scan Line (SL): SL10/15/20/40/60
(2) ISOPORT Loadports
FEC
Interlock controller
ACDC Power
YASKAWA Controller
Stage:
X, Y and Theta stage installed stage locking jig
PS2 / X,Y1,Y2,ADSC Amp
SMAC and X-Flex board
2-FVPA (Rear FVPA missing)
PS1 and Z Amp missing
Optic
AF Camera
Line scan camera
CIB 1,2,3 Board
XTC Board
AF Unit
AFSB
Focus missing
CH2 Line scan camera missing
Laser power supply
Laser head
Galil board (3-Channels)
User interface:
IMC System (Mercury and host PC)
SCC (HDD Missing)
Monitor
Keyboard
Joystick
Blower box
Line conditioner
UI and IS Connected cable
Exhaust hose
2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit une inspection optique et automatisée haute performance. Ce système est spécialement conçu pour fournir des mesures de haute précision et de précision pour la caractérisation avancée des appareils 3D. Il offre une résolution micron avec des rapports signal sur bruit exceptionnels, ce qui le rend de plus en plus fiable pour l'inspection dans l'industrie des semi-conducteurs. Au cœur de cette unité se trouvent ses capacités avancées de métrologie optique. Un spectromètre à double longueur d'onde utilise une large gamme de sources lumineuses pour mesurer les paramètres du dispositif tels que l'épaisseur, les propriétés optiques et la planéité en plusieurs points de la surface de la plaquette. Le spectromètre utilise le balayage de ligne et plusieurs diffractomètres pour détecter des caractéristiques avec une résolution et une précision extrêmes. En outre, le spectromètre est équipé d'un plan d'itinéraire automatisé, ce qui facilite la création de profils de surface de n'importe quelle plaquette rapidement et avec précision. KLA Puma 9000D dispose également d'une inspection automatisée avancée. Une machine d'imagerie 3D haute résolution utilise des outils de réfraction et de réflexion pour détecter des caractéristiques minuscules à la surface de la plaquette. L'outil d'imagerie 3D est utilisé pour mesurer une variété de paramètres de l'appareil, y compris les largeurs de ligne, les rapports d'aspect, la profondeur des trous et la contrainte thermique. En outre, cet actif est équipé d'un analyseur automatisé d'examen des défauts qui peut détecter et signaler les petits défauts de surface qui peuvent être invisibles à l'œil nu. En plus de ces capacités, TENCOR PUMA 9000 D comprend également plusieurs fonctionnalités logicielles avancées qui sont conçues pour augmenter l'efficacité utilisateur. Le modèle comprend un programme sophistiqué de cartographie des défauts qui peut présenter les données de l'appareil dans une variété de formats. Le logiciel peut également accéder à une grande bibliothèque d'algorithmes de défauts qui permettent des mesures précises et répétables. Cela peut aider à réduire les temps d'inspection et à améliorer la précision. Puma 9000D est un équipement extrêmement avancé qui est conçu pour fournir des services d'inspection haute performance. Ses capacités d'inspection optique et automatisée de pointe permettent des mesures fiables et précises au niveau du micron. De plus, les fonctionnalités du logiciel sont puissantes et conviviales, ce qui facilite l'analyse et l'interprétation des données. Avec ses caractéristiques avancées, le PUMA 9000 D est idéal pour une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs.
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