Occasion KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502 à vendre en France

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ID: 9016502
Patterned wafer inspection system, 2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120-IS est un équipement de métrologie et d'essai entièrement automatisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de mesurer et d'analyser les caractéristiques électriques et physiques des circuits intégrés (IC), y compris des caractéristiques minuscules d'une taille aussi petite que 0,1 micron. KLA Puma 9120-IS est équipé d'un puissant système de microscopie optique qui utilise une caméra CCD et des lentilles de grossissement pour mesurer les caractéristiques détaillées des structures des appareils et d'autres caractéristiques sur les plaquettes. Il est capable de capturer des images avec une résolution de 5x5 microns et des caractéristiques de capture plus petites que la profondeur 3D de 30 nanomètres. L'unité a également la capacité de mesurer des motifs linéaires et angulaires de dispositifs jusqu'à au moins 30 microns, permettant une précision au niveau microscopique. Pour caractériser, analyser et dépanner les performances d'un appareil, la machine utilise une gamme de technologies différentes, y compris la mesure de l'alignement actif de la plaquette à la plaquette, la machine de mesure de coordonnées (CMM) et l'ellipsométrie spectroscopique à angle variable (VASE). En fournissant aux utilisateurs ces trois outils pour des mesures analytiques avancées, TENCOR Puma 9120-IS est une plate-forme exceptionnelle pour la caractérisation électrique et physique des IC. En termes de fonctionnalité de test, Puma 9120-IS a la capacité d'effectuer une variété de tests tels que des mesures de surface, des sondages, des tests de protocole électrique, des essais de substrats fuyants et des essais d'étirage. Il est également capable de tests d'amélioration au niveau des plaquettes pour une large gamme d'appareils tels que DRAM, dispositifs Flash, EPROMs, OTP, et LCD. De plus, le Puma supporte la manutention automatisée des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Il offre également un outil intégré de révision des défauts avec une révision automatique par algorithmes et des critères définis par l'utilisateur, permettant une résolution plus rapide des problèmes. KLA/TENCOR Puma 9120-IS est un instrument performant qui offre précision et précision des mesures, ce qui en fait un choix idéal pour la caractérisation, le test et le dépannage des circuits intégrés. Il est capable de gérer une variété de circuits intégrés et son support pour les technologies auto-focus et auto-mesure contribue à garantir des résultats corrects et à gagner du temps.
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