Occasion KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224 à vendre en France
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Vendu
ID: 9177224
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 IS est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes leader dans l'industrie. La technologie de pointe combine des capacités optiques de précision, de reconnaissance d'image et de métrologie, permettant une inspection et une analyse plus rapides et plus précises des plaquettes. KLA Puma 9150 IS est spécialement conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs à haut volume. TENCOR Puma 9150 IS dispose de neuf caméras RVB automatisées à haute résolution qui permettent l'inspection des plaquettes sur plusieurs niveaux avec une option de multiplexage de champ de vision. Cela permet à l'utilisateur de scanner rapidement des plaquettes pour plusieurs types de défauts, y compris les irrégularités de surface, les contaminants de particules et les contaminants liés au processus comme les erreurs de lithographie. Les systèmes optiques fournissent des mesures précises jusqu'à l'échelle du nanomètre. Le processus automatisé d'inspection des plaquettes permet une analyse précise et efficace de la surface des plaquettes. La technologie de vision informatique du système permet à l'utilisateur d'identifier et de classer avec précision les défauts détectés. De plus, Puma 9150 IS est capable de fournir des données de métrologie en temps réel pour faciliter la prise de décision pendant les phases de test des plaquettes. KLA/TENCOR Puma 9150 IS est également équipé d'un logiciel puissant et facile à utiliser qui simplifie la capture et l'analyse d'images. Ce logiciel a une interface utilisateur graphique conviviale et fournit des capacités avancées de traitement d'images vidéo. De plus, sa modularité permet des configurations personnalisées adaptées à différentes applications de test de plaquettes et de métrologie. KLA Puma 9150 IS permet un débit à grande vitesse en apprenant automatiquement à partir des données qu'il recueille. Il est conçu pour vérifier le matériel entrant rapidement et avec précision, tout en fournissant une rétroaction qui optimise le processus pour les opérations futures. De plus, l'unité de métrologie intégrée se distingue par sa grande précision. En utilisant des étalonnages uniques, il fournit des résultats reproductibles et précis à l'échelle du nanomètre. Dans l'ensemble, TENCOR Puma 9150 IS est une machine de test et de métrologie avancée qui combine les dernières technologies de reconnaissance optique et d'image. Cet outil robuste fournit des résultats fiables d'inspection des plaquettes et de métrologie avec une précision et une répétabilité exceptionnelles. Sa modularité et son logiciel puissant le rendent hautement configurable, ce qui en fait une excellente solution pour tout test de wafer standard de l'industrie et les besoins de métrologie.
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