Occasion KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535 à vendre en France
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Vendu
ID: 9217535
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Darkfield inspection system, 12"
YASUKAWA Transfer robot
ASYST Foup
2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 est un équipement avancé d'essai et de métrologie des plaquettes utilisé pour l'inspection des plaquettes, la métrologie et l'analyse d'images. Il dispose d'un bras robotique automatisé, d'un contrôle précis du mouvement et de puissantes capacités d'imagerie et de traitement pour capturer des images et analyser les données rapidement et avec précision. Le système est composé de deux composants principaux : l'étage de traitement des plaquettes et le module d'imagerie et de traitement. L'étape de manipulation de la plaquette est un bras robotique automatisé qui positionne précisément une plaquette d'échantillon pour le processus d'imagerie et d'analyse, permettant l'utilisation de l'unité pour des échantillons de différentes tailles. L'étape ajuste également l'orientation et la hauteur de l'échantillon pour assurer la précision de l'analyse, ainsi que l'imagerie et la saisie des données. Le module d'imagerie et de traitement se compose d'une machine d'imagerie, d'interfaces de contrôle et de modules de traitement multiples. L'outil d'imagerie se compose de deux caméras CCD et est capable de capturer des images avec une résolution allant jusqu'à 10 micromètres. En outre, l'actif est équipé d'une optique multi-focale qui lui permet de recueillir des informations utiles sur les plaquettes. Parallèlement, les interfaces de contrôle, telles que le logiciel KLA GUIMind, offrent une expérience utilisateur intuitive et complète et permettent un contrôle complet du modèle, assurant une gestion intégrée des données et une analyse avancée. Enfin, l'équipement comprend plusieurs modules de traitement, tels que le module de classification des défauts, pour l'inspection complète et la métrologie. Cela garantit que les données recueillies par le système sont exactes et peuvent être analysées plus avant et utilisées pour déterminer les éventuels problèmes avec la plaquette avant son intégration dans une unité. La machine KLA Puma 9150 est un outil important pour l'inspection des plaquettes et la métrologie, fournissant des données précises, précises et informatives pour permettre une analyse complète. Son bras robotique automatisé et ses puissantes capacités d'imagerie et de traitement en font un excellent choix pour les inspections de plaquettes et les applications de métrologie.
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