Occasion KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170 à vendre en France
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Vendu
ID: 9258170
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Inspection system, 12"
Dual films handler
With integrated mini environment DP sensor
(2) Front Interface Mechanical Standard (DFIMS):
Load ports integrated sub Class 0.1 mini environment (Front to back configuration)
Modular inspection station
Modular user interface
Auto image grab with DSA option
Low noise detection algorithms
Region based binning
Integrated high magnification review optics
Camera with auto focus
Brightfield / Darkfield viewing
Defect clustering and review sampling
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Wafer pre-aligner
High resolution color display
Blanket film inspection
Automated inspection
Advanced Oblique Illumination Optics
Region based multi-thresholding
IRIS Spatial filtering technology
High resolution collection optics
With polarization purity analyzers
2011 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9550i est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des mesures de haute précision des caractéristiques des appareils et des dimensions critiques. C'est la plate-forme de métrologie de dernière génération de la famille de systèmes KLA Puma. Le 9550i intègre des technologies et des innovations de pointe pour garantir une précision et une productivité inégalées. Au cœur de l'unité se trouve sa conception optique hautement intégrée : une tête optique unique avec un microscope d'imagerie à diffraction d'irradiation à balayage (iSCOPE) et une conception à double déflecteur basée sur deux objectifs interférescopiques, tous deux disposés dans un étage de flexion multi-axes. L'iSCOPE permet l'imagerie simultanée de critères multiples sur toute la surface de l'appareil et est en mesure de fournir une analyse des dimensions des caractéristiques critiques, de la hauteur/angle critique et des mesures de recouvrement des côtés supérieur et inférieur de l'appareil. La conception à double déflecteur permet à la fois des mesures de haute précision de la dimension critique et des mesures précises de hauteur/angle critique des deux surfaces avec des mouvements de précision de sous-nanomètre. En plus de sa conception optique supérieure, le 9550i offre également des mesures à grande vitesse avec 30ms temps de mesure en un seul clic, l'identification des fonctionnalités en moins de 2 secondes, et la cartographie des plaquettes avec une couverture complète en moins de 12 minutes. La machine possède également une répétabilité supérieure avec une précision de 5 sigma de 0,96nm dimensions critiques et une erreur de recouvrement de 0,76nm. Pour faciliter davantage le processus des utilisateurs, le 9550i offre également une interface utilisateur prospective avec interface intuitive pilotée par menu qui réduit le temps de formation des utilisateurs et fournit des exemples « étape par étape » pour des mesures et analyses automatisées. Le logiciel propriétaire de reconnaissance de motifs TENCOR, l'Automatic Feature Recognition (AFR), assure une analyse d'espacement à haut débit et précise à partir d'aussi peu d'images scannées. KLA Puma 9550i est un outil d'essai et de métrologie de wafer qui est spécialement conçu pour les mesures de précision et offre des fonctionnalités qui ne se trouvent dans aucune autre plate-forme concurrente. Sa conception optique innovante offre une précision, des performances et une productivité inégalées, tandis que son interface utilisateur, ses options logicielles et ses capacités supérieures de reconnaissance des fonctionnalités aident les utilisateurs à identifier et à analyser rapidement les caractéristiques critiques, leur permettant ainsi de réaliser leurs projets plus rapidement et plus efficacement. Avec ses performances supérieures et ses fonctionnalités conviviales, le 9550i est le choix idéal pour des mesures de précision avancées.
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