Occasion KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960 à vendre en France

KLA/TENCOR Puma 9650 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. Il combine la technologie pour le test rapide et précis des plaquettes à motifs avec plusieurs technologies d'inspection pour une gamme complète de capacités de test. Le système KLA Puma 9650 utilise des technologies de champ lumineux optique (OBF) et de métrologie de pointe pour effectuer rapidement une inspection et des mesures complètes des plaquettes. Il dispose de capacités complètes d'imagerie de plaquettes et de reconnaissance de motifs, y compris une caméra CCD couleur haute résolution améliorée, pour capturer rapidement des images de plaquettes et fournir un aperçu détaillé des caractéristiques de la plaquette. Son alignement des échelons de recouvrement assure la précision des mesures de recouvrement et la répétabilité des résultats des essais. Les capacités de métrologie de l'unité comprennent l'imagerie tridimensionnelle pour la caractérisation détaillée des structures à l'échelle des nanomètres, l'épaisseur des parois latérales et les mesures de recouvrement/enregistrement. Il peut également être utilisé pour mesurer des paramètres tels que la dimension critique (CD) et la rugosité en largeur de ligne (LWR) sur divers substrats de plaquettes tels que le cuivre, le titane et l'arséniure de gallium. Pour garantir la précision, TENCOR Puma 9650 dispose également d'une machine autofocalisante de plaquettes et d'un outil d'éclairage de haute puissance pour l'imagerie en champ lumineux. Cela garantit que la plaquette est au plus haut niveau de détail et améliore la précision des mesures. En outre, l'actif est livré avec un modèle breveté d'étage hybride, qui offre la flexibilité d'effectuer deux types de mesures au niveau de la plaquette et du niveau de la matrice. Cela aide à réduire les coûts de retravaillement et de matériaux car les petites tailles d'échantillons peuvent être testées. Ce logiciel intégré offre une interface graphique conviviale et permet des tests et analyses automatisés. Il fournit de puissantes capacités d'analyse de données pour l'analyse complète des défauts et des défaillances et l'analyse des tendances. Le logiciel simplifie également le processus de configuration des mesures de base et complexes, permettant un fonctionnement rapide et sans effort. Dans l'ensemble, le Puma 9650 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour fournir des mesures précises et une inspection rapide des plaquettes à motifs. Avec ses systèmes de métrologie avancés et son système à étages hybrides, l'unité est bien adaptée à des applications telles que l'inspection des défauts de photomasques, les tests de sonde sans contact de plaquettes et la surveillance du rendement de la filière.