Occasion KLA / TENCOR Quantox XP #293830783 à vendre en France

ID: 293830783
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2004
Measurement system, 8"-12" 2004 vintage.
KLA/TENCOR Quantox XP est un équipement automatisé d'essai et de métrologie des plaquettes qui fournit des mesures rapides, précises et traçables sur les plaquettes. Il est conçu pour une utilisation dans des environnements de fabrication de semi-conducteurs et peut être utilisé pour diverses applications de métrologie des semi-conducteurs, y compris la mesure de la dimension critique (CD), la rugosité des bords de ligne (LER), la largeur isolée des lignes, le trou de contact et la matrice d'interaction des dispositifs (DIM). Le système se compose de trois modules principaux : un module de sélection et de localisation d'échantillons motorisés, un module d'imagerie et de modélisation au microscope électronique à balayage (SEM) et un module d'analyse d'échantillons à microsillon. Le module pick and place est responsable du positionnement de la plaquette sur la scène, tandis que le module d'imagerie SEM permet l'imagerie de motifs de caractéristiques sur la plaquette. Le module d'analyse de l'échantillon microsillon est utilisé pour l'analyse approfondie des caractéristiques de la plaquette. Au cœur de l'unité Quantox XP de KLA se trouve la plate-forme logicielle GCENTREtar, conçue pour faciliter l'ensemble du processus de métrologie, du placement des échantillons aux mesures des caractéristiques. La plateforme est conçue pour être conviviale et offre une gestion complète des données tout au long du processus de test. Il dispose également d'une vaste bibliothèque d'algorithmes permettant d'effectuer de multiples types de mesures. La machine Quantox XP de TENCOR est équipée d'une variété de fonctions d'automatisation qui permettent d'assurer un fonctionnement cohérent et fiable. L'outil dispose d'un processus d'étalonnage automatisé qui assure la précision et la répétabilité des mesures pour chaque plaquette. Le chargement et le nettoyage automatisés des échantillons permettent une métrologie ininterrompue et efficace des plaquettes. L'actif dispose également de plusieurs outils d'analyse avancés, dont la reconnaissance des fonctionnalités, la détection de contamination multifonctions, l'optimisation automatisée pour la collecte de données, et plus encore. De plus, le modèle Quantox XP est conçu pour être compatible avec d'autres systèmes KLA existants. Il assure une intégration homogène avec d'autres systèmes dans l'équipement de choix du client, assurant la cohérence des processus et l'uniformité des données. Globalement, KLA/TENCOR Quantox XP est un système robuste de test et de métrologie des plaquettes qui fournit des mesures rapides, précises et traçables sur les plaquettes. Avec ses fonctionnalités d'automatisation étendues, sa plateforme de gestion de données robuste et sa compatibilité avec d'autres systèmes TENCOR, KLA Quantox XP est le partenaire idéal pour tout environnement de fabrication de semi-conducteurs.
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