Occasion KLA / TENCOR RE35e #9130305 à vendre en France
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KLA/TENCOR RE35e est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des inspections métrologiques de surface et de profondeur de haute précision des dispositifs semi-conducteurs. Le système offre des performances supérieures dans une faible empreinte, sans compromettre la précision de mesure. KLA RE35e est conçu pour fournir des mesures supérieures et très précises au niveau des plaquettes, tout en permettant des débits plus élevés. Il comprend une plate-forme CCD multi-axes avancée, utilisant un module de transfert optique haute résolution et des solutions matérielles et logicielles de pointe, adaptées à la métrologie en ligne et en laboratoire. Il dispose d'un générateur de motifs intégré à deux étages permettant de mesurer différentes tailles et profondeurs de motifs. La méthode de génération de motifs garantit des résultats cohérents et à haute résolution, quel que soit le type de matériau ou de procédé. Les algorithmes de focalisation et d'alignement intégrés de TENCOR RE35e permettent des mesures moins coûteuses et très rapides. En outre, son module optique avancé, sa génération de motifs flexibles et ses servomoteurs de haute précision fournissent des mesures très précises et précises, sans introduire d'artefacts dans les résultats. RE35e intègre une interface logicielle conviviale intuitive, permettant aux utilisateurs de configurer et configurer facilement l'unité pour diverses applications et tâches. Les utilisateurs peuvent facilement accéder et contrôler de nombreuses fonctionnalités de la machine. Les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de paramètres, y compris le type de métrologie (p. ex., CD, dimension critique latérale, épaisseur, etc.), les paramètres d'exposition (inclinaison, focalisation, temps d'exposition) et les paramètres d'acquisition des données acquises (p. ex., taux d'échantillonnage, gain, linéarité, etc.). L'outil offre également plusieurs fonctionnalités avancées, telles que la reconnaissance de mesures multiples, la cartographie automatisée des plaquettes, l'analyse des signaux et la construction de modèles optiques. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des mesures très précises, tout en permettant un débit plus rapide. KLA/TENCOR RE35e est un choix idéal à des fins de recherche et de production, car il permet des inspections de surface et de métrologie en profondeur précises et rapides. Il maximisera l'efficacité, réduira les taux d'erreur et assurera des données fiables.
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