Occasion KLA / TENCOR RS-55TCA #9191837 à vendre en France
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ID: 9191837
Style Vintage: 1995
Automatic resistivity mapping system
Type: Probe B
Measurement specifications:
Measurement range: <5 mohm/sq to >5 mohm/sq
Typical measurement time: 3.5-4.5 Seconds per test site
NIST(NBS) Standard wafers corrected to 23°C: ±1 %
Measurement repeatability: <0.2%
Temperature measurement accuracy: ±0.5°C
Temperature measurement repeatability: ±0.5°C
Routine check: 1-30 Sites programmable
Contour / 3-D map
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 Sites programmable
Probe qualification: (20) Sites
P-N Typing
Single / Dual configuration options
Hardware specifications:
Standard wafer sizes: 100, 125, 150 & 200 mm
Thick substrate option: 6 mm Thick materials
Color HP paintjet printer
Dot matrix printer
High resolution color monitor
Power requirements: 115/230 V, <8 A, 50/60 Hz
Vacuum: 500 mm Hg
Vacuum: 300 mm Hg
Pressure: 40-50 psig (3.3 bar)
Pressure: 40-60 psig (3.3 bar)
486/33 MHz Computer
486/25 MHz Computer
110 MB Fixed hard disk drive
40 MB Fixed hard disk drive
44 MB Removable hard disk
3.5" Diskette drive
1.44 MB Capacity
Analysis capabilities:
Contour, XY, Die
3-D Surface maps
Diameter scans
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing & data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference & ratio maps
Data transfer capabilities:
SECS II / RS232 Communication
Enhanced SECS II for fully automated operation
1995 vintage.
KLA/TENCOR RS-55TCA est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit la mesure et l'analyse au niveau de la plaquette, et peut être utilisé pour évaluer un large éventail de paramètres du dispositif tels que la forme de la surface, la largeur de l'électrode, la taille, et les caractéristiques géométriques. L'unité est capable d'analyser des caractéristiques d'une taille allant jusqu'à 0,8 μ m, ce qui en fait un excellent outil pour tester avec précision les dispositifs de sous-microns. Un avantage majeur de KLA RS55TCA est sa capacité à utiliser des techniques de mesure résolues dans le temps pour évaluer les propriétés des appareils sensibles avec une grande précision. Ceci est activé par le puissant capteur interférométrique à déphasage (PSI) du système, qui fonctionne en tandem avec un processeur de signal différentiel en temps réel. Cette combinaison est capable de détecter des changements de minute entre des observations prises sur de courts intervalles de temps, permettant une excellente précision dans les résultats de mesure et un débit de test plus rapide par rapport aux techniques classiques. L'unité est composée de plusieurs composants. Un fin-effecteur robotique est capable de positionner la plaquette pour balayer à travers le capteur PSI dans un mouvement linéaire ou un balayage de raster basé sur des points. Un convoyeur à bande semi-conductrice et une plate-forme de plaquette fournissent une plate-forme sécurisée pour la plaquette pendant les essais. Une tête de microscope optique permet une imagerie amplifiée à haute résolution de la surface de la plaquette et une analyse ultérieure des données. Enfin, TENCOR RS-55 TCA comprend une unité intégrée de contrôle et d'analyse composée d'un ordinateur personnel, d'une unité intégrée de contrôle moteur et de logiciels associés. Cette unité est suffisamment puissante pour contrôler les positions des plaquettes et traiter les données du capteur PSI pour produire des résultats de haute qualité pour la mesure et l'analyse. Dans l'ensemble, le RS 55 TCA est un puissant outil d'inspection et de métrologie des plaquettes qui offre une excellente précision et un débit rapide grâce à sa machine de mesure à résolution temporelle. Ses capacités polyvalentes et ses systèmes de contrôle intégrés en font un choix idéal pour la recherche et le développement de semi-conducteurs de pointe.
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