Occasion KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303 à vendre en France
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KLA/TENCOR RS-55TCA est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et la conception d'IC. Il s'agit d'un système entièrement automatisé qui permet l'analyse des défauts haute résolution, la gestion du rendement, le contrôle des processus et l'analyse des défaillances. L'unité fournit une grande précision, répétabilité et fiabilité dans la surveillance et le contrôle de la production de circuits intégrés. La machine KLA RS55TCA combine un capteur CCD (Charge-Coupled Device), un aligneur die-to-wafer et un étage multi-axes pour fournir des images de haute résolution et une précision exceptionnelle. Le capteur CCD utilise un outil d'imagerie optique breveté pour capturer des informations non visibles au niveau de la matrice individuelle et de la matrice. Une technologie avancée d'imagerie au microscope est ensuite utilisée pour analyser et détecter des défauts de 10 à 40 µm. L'alignement die-to-wafer enregistre la topographie de la plaquette et fournit un grand champ de vision pour localiser et identifier avec précision les défauts. L'étage multi-axes offre une grande précision de mouvement pour un positionnement et un mouvement précis. TENCOR RS-55 TCA est calibré avec une boîte d'étalonnage qui assure une métrologie de précision au niveau des sous-microns. L'actif est capable de mesurer jusqu'à huit paramètres différents de différents sites sur la plaquette. Depuis les mesures die-by-die jusqu'aux mesures de photomultiplicateurs macro-niveaux, TENCOR RS 55 TCA peut détecter les irrégularités qui peuvent survenir lors de la réalisation de circuits intégrés. Le modèle permet également de détecter des caractéristiques telles que le dépôt de couches minces, la structure des grains, l'imagerie transversale et les dépôts de TEOS (orthosilicate de tétraéthyle). RS-55TCA est un outil de métrologie avancée pour la fabrication et la fabrication de puces. Il est conçu pour fournir une précision et une répétabilité élevées tout en fournissant des données fiables qui peuvent aider à la gestion du rendement et au contrôle des processus. Cet outil peut aider à assurer l'assurance de la qualité du produit final tout en identifiant et en atténuant les problèmes de production. L'étage multi-axes robuste de KLA/TENCOR RS 55 TCA, le capteur CCD et l'alignement die-to-wafer offrent une combinaison puissante pour des essais et une métrologie de plaquettes précises et fiables.
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