Occasion KLA / TENCOR RS Series #293597083 à vendre en France

La série KLA/TENCOR RS est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe, conçu pour une surveillance efficace et précise de la production et de l'emballage de microélectronique. C'est un système entièrement automatisé, permettant des essais rapides et fiables des surfaces de plaquettes. La série KLA RS se compose de trois modèles différents avec des caractéristiques et des capacités distinctes. Le modèle RS 300 est conçu pour le contrôle de processus 3D avancé avec unité de numérisation de dimension critique, ou CD-SEM. Il est capable de détecter les défauts de surface et la rugosité avec une grande précision et reproductibilité, même sur les plus petits motifs de circuit. Le RS 300 comprend également un module de microscopie optique avec une capacité de vidéo couleur pour fournir des images haute résolution et des mesures de l'épaisseur du film, profondeur/profil de gravure, granulométrie et propriétés optiques. Le modèle RS 500 est destiné à la métrologie de précision des surfaces et des couches minces. Il est équipé d'un réflectomètre diélectrique à lumière blanche, capable d'analyser et de mesurer les propriétés diélectriques de la plaquette sans contact d'échantillon. Cela permet des résultats plus précis et cohérents sur toute la surface de la plaquette. Le modèle comprend également un module de spectromètre de masse, permettant l'analyse et la quantification des contaminants gazeux et des espèces inertes. Le modèle le plus avancé de la série TENCOR RS est le RS 1000, conçu pour effectuer des mesures et une surveillance de haut niveau dans les environnements de production. Ce modèle comprend une machine intégrée de microscopie électronique à transmission transmissive (TEM) pour l'observation directe des nanostructures et des caractéristiques. L'outil dispose également d'un actif de mesure de surface en 3D « sans contact » basé sur l'interféromètre, permettant des mesures de phase résiduelle et de faible bruit avec plus de précision et de précision que jamais. En conclusion, RS Series est la solution idéale pour les essais avancés de plaquettes et de métrologie. Il peut fournir des mesures précises des propriétés de surface et des nanopatterns, permet de surveiller les niveaux de contamination et fournit des capacités d'analyse de données incomparables. Son modèle automatisé garantit des résultats rapides et efficaces, permettant une productivité accrue et un meilleur contrôle de la qualité dans la fabrication de la microélectronique.