Occasion KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416 à vendre en France
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KLA/TENCOR SFS 7600 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de nouvelle génération conçu pour l'inspection et l'analyse des plaquettes à haute performance. C'est une plate-forme évolutive et modulaire qui supporte une gamme de substrats, y compris le silicium, les semi-conducteurs composés, et organiques et avec une large gamme de configurations de test. Le système peut être configuré pour mesurer les dimensions critiques/globales (CD/DO) ou les dimensions critiques petites angle/CDSA, multi-die/CDMD et désalignement/superposition. L'unité est équipée d'une optique avancée, d'une analyse d'image haute résolution et de capacités de test automatisées basées sur la vision pour détecter et caractériser les défauts avec une résolution allant jusqu'à 5nm. En plus de la technologie d'imagerie et d'inspection, il intègre une gamme complète d'outils de métrologie, y compris la microscopie à balayage laser en quatre dimensions, la microscopie électronique optique et à balayage et les systèmes optiques généraux, pour permettre la mesure de la résolution des bords et d'autres substrats critiques. La KLA SFS 7600 supporte également des capacités étendues de métrologie et d'essai au niveau des plaquettes, y compris la contrainte/contrainte totale des plaquettes et la mesure électrique, la détermination de la dimension critique optique (DCO) et la mesure de la contrainte thermique résiduelle. Il fournit également un portefeuille avancé d'outils d'analyse intelligents tels que l'échantillonnage ciblé et la reconnaissance automatique des modèles, ainsi qu'un large éventail de processus automatisés de tests et de rapports de données pour assurer des résultats efficaces et exacts. La machine est conçue pour une variété d'applications industrielles, de la recherche et de l'automobile à l'aérospatiale et à l'électronique grand public. Il fournit des images de haute qualité, un traitement avancé et des données précises pour l'identification et la caractérisation des défauts, afin d'assurer la qualité des produits, l'uniformité des processus et le contrôle des rendements. En plus d'être très configurable et facile à utiliser, TENCOR SFS7600 s'intègre parfaitement avec d'autres systèmes de test de plaquettes et solutions d'entreprise pour permettre une gestion complète des données et la traçabilité.
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