Occasion KLA / TENCOR SFS 7600 #9167258 à vendre en France
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ID: 9167258
Taille de la plaquette: 8"
Patterned wafer inspection system, 8"
Missing parts.
KLA/TENCOR SFS 7600 est un équipement de pointe de métrologie et d'essai de plaquettes utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre des performances et des capacités améliorées par rapport à son prédécesseur - le SFS 6000. Le système combine une unité de métrologie haute vitesse optimisée par la tâche avec des systèmes automatisés de test et de manutention des plaquettes, fournissant une plate-forme complète conçue pour répondre aux marchés des semi-conducteurs les plus exigeants. Ses principales caractéristiques comprennent des capacités de mesure très sensibles, un haut débit de test de plaquettes, et une automatisation inégalée. La KLA SFS 7600 est dotée d'une machine optique Optex haute performance dynamique innovante dotée d'une grande technologie de correction d'aberration chromatique (BAC). La compatibilité de l'outil avec plusieurs réglages de lumière et de mesure permet un large éventail de tests avancés, du niveau atomique à l'échelle micro. Cet outil de test automatisé fournit des caractérisations complètes de plusieurs couches sur une seule plaquette, une analyse avancée des propriétés électroniques, ioniques, des dispositifs et optiques. Les performances de métrologie de précision du modèle TENCOR SFS7600 permettent une surveillance précise en temps réel des défauts de surface des plaquettes, une gestion des rendements et une meilleure optimisation des rendements. Il fournit des capacités supplémentaires pour les mesures en mode sans contact et balayage avec des algorithmes avancés pour la caractérisation des arêtes et des cristaux. Les algorithmes avancés de l'équipement permettent également une mesure précise de la source/drain et d'autres caractéristiques géométriques critiques pour le contrôle du processus. En outre, KLA/TENCOR SFS7600 offre également un accès plus flexible pour gérer les bases de données locales. Il fournit un environnement ouvert et convivial pour donner aux utilisateurs le pouvoir de personnaliser le système pour répondre à leurs besoins spécifiques. Il offre des capacités automatisées de test de plaquettes pour effectuer des tests et analyses de plaquettes efficaces du laboratoire au plancher de production. L'unité dispose d'un chargeur robotique et d'un déchargeur intégrés qui peuvent traiter jusqu'à 6 plaquettes simultanément, ce qui permet de réaliser des gains d'efficacité plus importants avec plusieurs plaquettes. KLA SFS7600 est également livré avec une variété de solutions logicielles conçues pour maximiser la productivité et la précision des utilisateurs. Les principales caractéristiques comprennent la détection avancée des défauts en temps réel, la trousse d'investigation, la cartographie automatisée de l'épaisseur des plaquettes et un outil complet de rapport statistique. Cela fait de SFS7600 un choix idéal pour les essais de plaquettes et la métrologie dans l'industrie des semi-conducteurs.
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