Occasion KLA / TENCOR SFX 100 #293761851 à vendre en France

KLA/TENCOR SFX 100 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit des résultats très précis pour le processus de fabrication des plaquettes de silicium. Il est conçu pour analyser une large gamme de paramètres de plaquettes de silicium rapidement et précisément, permettant une gestion rapide et efficace du contrôle de la qualité. Les principaux composants de KLA SFX 100 sont le système d'alignement automatique/manuel achromatique, le processeur d'alignement automatique/manuel et le microscope auto-aligneur. L'unité achromatique utilise deux caméras CCD montées en face l'une de l'autre pour assurer un alignement précis de la plaquette dans les champs de vision de l'instrument. La machine est également équipée d'un module d'auto-alignement qui utilise un algorithme pour localiser, identifier et tracer les points de motif d'une plaquette pour un alignement précis en moins d'une seconde. TENCOR SFX 100 dispose d'un outil optique puissant qui permet des mesures automatiques des plaquettes et offre des fonctions de métrologie manuelle et automatisée. L'actif peut mesurer un large éventail de paramètres, y compris le dédicacement/gravure, la rugosité de la surface du pic et la largeur de ligne, avec une précision allant jusqu'à 0,5 nanomètres, ainsi que des couches de photorésist/matériau de gravure et d'autres caractéristiques. Le SFX 100 est également capable d'optimiser le traitement par tranche pour s'assurer que le traitement par lots est le plus efficace possible. Pour ce faire, on intègre un modèle de rétroaction en boucle fermée qui permet à l'utilisateur d'effectuer instantanément les ajustements nécessaires aux paramètres de la plaquette une fois qu'ils ont été mesurés. Cela permet de réduire le temps consacré aux opérations aériennes traditionnelles telles que l'étalonnage et l'optimisation de l'équipement lors d'une expérience. De plus, KLA/TENCOR SFX 100 peut utiliser un interféromètre laser de haute précision pour inspecter la géométrie de la plaquette. Il peut mesurer avec précision un large éventail de paramètres géométriques et dimensionnels critiques, y compris des largeurs de lignes, des hauteurs de caractéristiques, des rayons d'angle et des distributions de non-linéarité. Dans l'ensemble, KLA SFX 100 est un instrument de test et de métrologie avancé idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une mesure efficace d'un large éventail de paramètres critiques avec une grande précision et précision. Les solutions d'alignement automatisées et manuelles du système garantissent un positionnement précis de chaque plaquette dans le champ de vision de l'instrument. De plus, l'interféromètre laser haute précision et l'unité de rétroaction en boucle fermée de TENCOR SFX 100 permettent à l'utilisateur de personnaliser les paramètres de la plaquette rapidement et efficacement.