Occasion KLA / TENCOR SFX 100 #9249578 à vendre en France

KLA/TENCOR SFX 100 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit des tests et analyses automatisés de substrats et de couches minces. Le système comprend deux composants principaux : un module d'optique pour l'imagerie et la métrologie cinématographique, et un module électronique pour les essais électriques à haute résolution. Pour l'analyse optique, KLA SFX 100 possède un microscope à « large champ » accordé en fréquence. Cela permet une imagerie non-contact, non-destructive de grandes surfaces de plaquettes. Il est capable d'examiner divers paramètres tels que la topographie et la microstructure. Avec l'ajout de certains accessoires, il peut mesurer l'épaisseur du film et la taille des particules. Le module électronique est composé de quatre instruments distincts. Il s'agit d'un interféromètre laser et d'une sonde de tension pour mesurer les signaux haute fréquence, et d'un étage de scanner et d'un scanner de pression pour mesurer les propriétés électriques latérales du substrat sur une zone donnée. Ce module permet de mesurer la résistance du substrat, ainsi que la capacité et le flux de courant du dispositif. TENCOR SFX 100 offre une analyse rapide et automatisée du dispositif, du substrat et du film. Il peut mesurer rapidement et avec précision un large éventail de paramètres limités uniquement par le choix de sondes et d'accessoires. Il est bien adapté pour le test rapide des dispositifs à couches minces et fournit des informations détaillées sur les propriétés électriques, optiques et structurelles de la plaquette.