Occasion KLA / TENCOR SLF17 #293661244 à vendre en France
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ID: 293661244
Reticle inspection system
Reticle loading:
SEMI Standard reticle: SLF17HR-Ursa handle
SLF17HR-Ursa automatic loading with SAL
Reticle dimensional:
Sizes: 5", 6", 7"
Front pellicle height: 6.3 mm
Back pellicle height: None
Maximum pellicle dimension: 149.3 mm x 122 mm for 6" W-DUV reticle
Reticle pattern: 7 mm
Internal storage: FAL Magazine
Pixel sizes: 150, 186, 250 nm
Image acquisition:
Wavelength laser: 364 nm
UV Sensors for transmitted and reflected light
Through-the-lens automatic focusing system
Air-bearing reticle stage with laser interferometer
Data automation/Connectivity:
100 BaseT Network connection
Interface with 97i platform SL3UV and (KLA98/99).
KLA/TENCOR SLF17 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu spécifiquement pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs. Il offre une technologie de pointe et la capacité d'effectuer efficacement toutes sortes de tests au niveau des plaquettes et de mesurer divers paramètres critiques pour atteindre le rendement et la qualité maximum de la puce. KLA SLF17 est un système de métrologie intégré qui fournit une suite complète de solutions de test et de mesure automatisées. Il est construit sur une architecture modulaire qui permet aux opérateurs d'agrandir facilement l'appareil avec des composants supplémentaires au besoin. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser la machine en fonction de leurs exigences de processus et des objectifs du produit. L'architecture flexible de TENCOR SLF17 garantit qu'elle peut être utilisée pour exiger des mesures au niveau des plaquettes qui sont essentielles pour les processus semi-conducteurs les plus avancés d'aujourd'hui. SLF17 peut être équipé d'un large éventail de capacités de test, d'imagerie et de mesure. Ses principaux sous-systèmes d'essai comprennent un module d'inspection électro-optique, un test Die-to-Die et un oscilloscope. L'outil dispose également d'une gestion automatisée des plaquettes et d'un module de contrôle de positionnement standard ainsi que d'un logiciel avancé d'acquisition de données. Cette combinaison de matériel et de logiciel fait de KLA/TENCOR SLF17 un outil idéal pour effectuer des tests de plaquettes avec une vitesse et une précision maximales. En outre, KLA SLF17 offre une variété de fonctionnalités optionnelles qui peuvent rendre l'actif encore plus puissant. Les options comprennent la cartographie des plaquettes haute densité, la capture des défauts avec des modules de sondes électriques, des systèmes d'imagerie au niveau de la matrice, des moteurs de cartographie des défauts et des solutions de stockage à long terme. Cette large gamme de caractéristiques rend TENCOR SLF17 très polyvalent et bien adapté pour effectuer une variété de tests et de mesures au niveau des plaquettes. Dans l'ensemble, SLF17 Wafer Testing and Metrology Model est un équipement de métrologie fiable et avancé qui peut fournir une gamme de fonctions de test et de mesure automatisées pour atteindre les puces semi-conductrices de la plus haute qualité. De son matériel de pointe à son architecture flexible, KLA/TENCOR SLF17 est un choix idéal pour les processus de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeants d'aujourd'hui.
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