Occasion KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #9223300 à vendre en France
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Vendu
ID: 9223300
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
Optical review system, 12"
(3) Loaders (Auto)
Operating system: Microsoft Windows XP
Handler unit
Metrology unit
Power: 208 AC, 2 Phase
2017 vintage.
KLA/TENCOR SpectraShape 8660 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de pointe conçu pour mesurer les propriétés électriques, optiques et mécaniques des plaquettes à semi-conducteurs. Il est capable de mesurer avec précision les plaquettes semi-conductrices jusqu'à 8 pouces de diamètre et fournit un moyen fiable, répétable et économique de déterminer la qualité d'une plaquette. Le 8660 utilise une technologie multi-capteurs unique pour recueillir des données sur les plaquettes semi-conductrices. Le système se compose d'une sonde, d'une tête optique et d'une électronique de test électrique intégrée. La sonde consiste en un réseau de sondes pyramidales qui est capable de contacter jusqu'à 8 emplacements sur la plaquette simultanément et peut être utilisé dans un processus manuel ou automatisé. La sonde peut détecter des changements dans la résistance et la capacité électriques ainsi que fournir une imagerie bidimensionnelle de la surface de la plaquette. La tête optique fournit une microscopie optique qui peut fournir des images à haute résolution pour détecter des défauts de surface, des contaminants ou des changements de caractéristiques physiques. L'électronique d'essai intégrée permet de mesurer les paramètres électriques des semi-conducteurs tels que la mobilité des porteurs, les propriétés électriques et la défectivité. KLA SpectraShape 8660 fournit également des capacités d'analyse de données étendues qui permettent la comparaison de wafer à wafer, la reconnaissance de motifs et l'analyse des défaillances. La couche d'intégration extensible du 8660 permet aux clients d'intégrer des processus de test supplémentaires dans l'unité, tels que l'inspection visuelle des défauts, l'inspection photomasque et les tests ITO/ICP automatisés. Avec sa technologie multi-capteurs unique et ses capacités d'analyse de données avancées, TENCOR SpectraShape 8660 est la machine de test et de métrologie idéale pour les installations de production de plaquettes semi-conductrices. Il fournit des tests de wafer complets et la métrologie pour assurer la qualité du produit et réduire les risques d'une manière rentable.
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