Occasion KLA / TENCOR Surfscan AIT #293750395 à vendre en France
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KLA/TENCOR Surfscan AIT est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour permettre aux fabricants de semi-conducteurs de tester et de mesurer rapidement et avec précision les propriétés de leurs plaquettes et structures. Les principaux composants de ce système sont un microscope optique, une caméra CCD, une grande variété de modules matériels et logiciels, et un contrôleur de paramètres de processus. Le microscope optique intègre une fonction de zoom optique avancée et une unité d'éclairage reconfigurable pour visualiser les caractéristiques microscopiques sur les plaquettes. La caméra CCD peut être utilisée pour capturer des images haute résolution de la plaquette et des structures inspectées. Cette machine comprend également divers modules matériels, dont un outil intégré de métrologie pour mesurer les dimensions à différentes échelles, et un actif de lithographie pour fixer les plaquettes pendant le processus de fabrication. En termes de logiciels, KLA Surfscan AIT comprend une multitude d'applications conçues pour recueillir, analyser et afficher des données. TENCOR Surfscan AIT peut être utilisé pour évaluer l'intégrité des plaquettes micropuces, mesurer la résistivité, détecter la contamination et mesurer les variations de dimensions critiques (CD) des structures et des caractéristiques. Surfscan AIT dispose également de capacités pour reconnaître les défauts et effectuer un tri et une qualification rapides. Son contrôleur de paramètres de processus intégré permet un contrôle en temps réel du processus et des paramètres opérationnels. De plus, KLA/TENCOR Surfscan AIT comprend des capacités avancées de collecte, d'analyse et de déclaration de données. Ce modèle utilise diverses méthodes de collecte de données, y compris l'inspection visuelle automatisée, l'analyse complexe des données et les métriques définies par logiciel, pour saisir et analyser les données obtenues à chaque essai et mesure. Ces données sont ensuite compilées dans des rapports qui peuvent être utilisés par les fabricants pour évaluer les performances de leurs plaquettes et de leurs structures. KLA Surfscan AIT est conçu pour être utilisé dans des lignes de production à haut volume pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa puissante combinaison de modules matériels et logiciels, ainsi que sa capacité à tester et mesurer rapidement et avec précision les wafers et les structures, en font un choix idéal pour les tests de wafer et la métrologie.
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