Occasion KLA / TENCOR Surfscan AIT #9155784 à vendre en France

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ID: 9155784
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1997
Patterned wafer inspection system, 6"-8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan AIT est un équipement leader d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour les opérations d'inspection et de métrologie de plaquettes à grande vitesse et à haut débit. Il est adapté à une variété d'applications, allant de simples inspections de défauts à des systèmes complexes de contrôle de processus. Le système comprend plusieurs composants, dont une unité matérielle avancée, une machine logicielle intégrée et des accessoires optionnels. La composante matérielle comprend un illuminateur, une lentille objective et un ensemble de détecteurs, qui servent à capturer des images de la plaquette pour la détection des défauts, la métrologie et d'autres inspections. L'ensemble détecteur est constitué d'un CCD haute vitesse ou d'un CCD haute sensibilité selon l'application. L'outil logiciel comprend une interface utilisateur graphique puissante et intuitive (UI) et un large éventail d'algorithmes automatisés d'inspection des défauts pour inspecter une variété de défauts de plaquettes. L'interface graphique est conçue pour faciliter un fonctionnement convivial pour une détection optimale des défauts. L'atout logiciel fournit également un soutien pour l'imagerie avancée du courant de Foucault ainsi que de puissantes fonctions de contrôle statistique des processus (RCP) et de caractérisation des processus de mesure (CPM) pour améliorer les performances de la métrologie. Le modèle KLA Surfscan AIT présente plusieurs caractéristiques opérationnelles qui lui confèrent des avantages distincts par rapport aux autres systèmes d'inspection et de métrologie des plaquettes. Il fournit un débit extrêmement élevé, jusqu'à 300mm de plaquettes par heure, et peut être rapidement reconfiguré pour s'adapter aux exigences changeantes du processus. Il permet également des mesures très précises, avec un accent particulier sur les wafers, les structures 3D et les circuits intégrés. L'équipement allie le matériel et le logiciel très avancés et précis avec une facilité d'utilisation industrielle pour des tests de plaquettes rapides, précis et rentables. Il offre simultanément la métrologie en ligne et l'inspection des défauts sur plusieurs noeuds d'application pour obtenir une couverture d'inspection complète et l'optimisation des processus en temps réel. En outre, la compatibilité avec le logiciel de contrôle d'automatisation populaire, Semi-AUTOgonous FABrication (SAF) systèmes, rend l'utilisation de TENCOR Surfscan AIT système encore plus attrayant. Surfscan AIT est une solution complète, économique, de test de plaquettes et de métrologie qui fournit la vitesse et la précision nécessaires pour surmonter la complexité de la production de plaquettes modernes. Ses capacités logicielles et matérielles de pointe garantissent des résultats précis et fiables, ce qui en fait un choix idéal pour les tâches critiques de contrôle et de surveillance des processus.
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