Occasion KLA / TENCOR Surfscan AIT #9204828 à vendre en France

KLA/TENCOR Surfscan AIT est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes, conçu pour l'inspection et la métrologie des plaquettes semi-conductrices. Le système utilise une combinaison de techniques optiques et de radiographie pour fournir une caractérisation complète et puissante des surfaces des plaquettes. La composante centrale de KLA Surfscan AIT est une chambre d'inspection, qui abrite l'optique, les étages d'échantillons transmissifs et le bouclier de collision. Cette chambre est un environnement sous vide, et les optiques sont disposées selon un motif codé de balayage qui recouvre l'ensemble de la plaquette. L'unité est capable de transporter divers échantillons en position, de les faire tourner jusqu'à l'orientation requise et de mesurer la réflectivité et la topographie de la surface. TENCOR Surfscan AIT a la capacité de détecter divers types de défauts de plaquettes, tels que la contamination des particules, les rayures et les défauts de motifs cristallins. La machine peut fournir des informations à la fois spatiales et de forme sur les défauts, afin de déterminer précisément leur emplacement. En outre, l'outil peut être utilisé pour la mesure de surface, où les caractéristiques de surface telles que la rugosité, la profondeur de rayure, et la hauteur sont mesurées. Afin de fournir une analyse plus détaillée, Surfscan AIT propose une métrologie des plaquettes. Cela est obtenu en combinant les composantes optiques et radiographiques de l'actif afin de mesurer avec précision des caractéristiques telles que la taille et le placement de l'élément. Cela se fait en utilisant les algorithmes d'imagerie avancés du modèle et la puissance de calcul. KLA/TENCOR L'équipement de Surfscan AIT est robuste et fiable et peut être utilisé pour diverses applications de test de plaquettes et de métrologie. Par exemple, le système peut être utilisé dans la qualification de nouveaux matériaux, dans l'évaluation de la performance du processus, ou dans l'analyse des échecs. L'unité est également capable de collecter des données à des vitesses plus élevées, ce qui permet d'inspecter une large gamme de plaquettes en peu de temps. Dans l'ensemble, KLA Surfscan AIT est un outil précieux pour le test et la métrologie des plaquettes, ce qui facilite et rend plus efficace que jamais la caractérisation des surfaces des plaquettes semi-conductrices.