Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824 d'essai de plaquettes et de métrologie est conçu pour une mesure rapide et précise des plaquettes. Il dispose d'un système automatisé et robuste qui balaie rapidement et commodément les plaquettes pour les dimensions critiques, les géométries de motifs, les paramètres de bord et les étapes. Cette unité a la capacité de mesurer des plaquettes plates ainsi que des courbes et des bosses relevées. KLA 45-014824 machine fournit un outil complet qui est capable de mesurer avec précision une variété de caractéristiques différentes sur les plaquettes semi-conductrices. Il utilise une caméra gris pour prendre des images d'interférence en deux dimensions (2D), qui sont ensuite utilisées pour mesurer des paramètres de dimension critique (CD). Il utilise également un atout de reconnaissance de motifs laser pour identifier et mesurer les paramètres de rainures. Le modèle a également la capacité de mesurer des hauteurs de pas. L'équipement est équipé d'une interface conviviale et de diverses options d'affichage pour fournir commodité et fiabilité lors des mesures. En outre, le système offre des fonctions d'analyse de données, telles que l'analyse statistique sur CD. Il est également monté intégralement sur un étage de plaquette à quatre axes, permettant des étapes automatisées lors de la mesure. TENCOR 45-014824 est conçu pour des mesures rapides et fiables avec des champs de vision superposés pour des mesures simultanées à partir de plusieurs pointes. Sa technologie de contrôle de l'interaction dynamique élimine les vibrations et la dérive de l'environnement, aidant à des mesures toujours fiables de la plaquette à la plaquette. L'unité utilise un circuit FEE haute tension qui assure des mesures répétables de CD indépendamment des variations de motifs à petite échelle. La machine est équipée de diverses fonctionnalités pour assurer des mesures précises, comme un moniteur de répétabilité avec une rétroaction en boucle fermée. Des routines automatisées sont fournies pour mesurer rapidement et facilement les plaquettes, et une bibliothèque de recettes est incluse pour créer des scripts de mesure personnalisés. En outre, l'outil a une architecture ouverte de sorte qu'il peut s'intégrer à divers outils de métrologie pour la reconnaissance des fonctionnalités et l'intégration des données. Dans l'ensemble, THERMA-WAVE 45-014824 est un atout avancé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer efficacement les plaquettes pour de multiples paramètres et caractéristiques. Le modèle offre des performances, un débit et une précision de pointe dans l'industrie et est facilement intégré à d'autres outils de métrologie. C'est le choix idéal pour l'inspection et les essais de plaquettes dans les applications avancées de fabrication et de production de semi-conducteurs.