Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 5220Xp #293656107 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 5220Xp est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui combine des fonctions d'essai optiques, mécaniques et électriques puissantes pour l'analyse avancée des plaquettes. Les principaux composants du système comprennent un microscope d'inspection, des nanopositionneurs multi-axes, un module de microforge et un module de cartographie de la température. Le microscope offre des capacités d'inspection et de métrologie, permettant l'observation et la mesure automatisées des structures des appareils. Les nanopositionneurs multi-axes permettent un positionnement précis des sondes lors des tests électriques. Le module microforge permet un réglage précis des dispositifs au cours du processus de fabrication. Le module de cartographie de la température permet de mesurer avec précision la température des appareils sur une gamme de températures. L'unité KLA 5220Xp utilise une machine d'imagerie à triple détection conçue pour fournir des images haute résolution sur un large éventail d'angles de champ et de grossissements. Pour ce faire, on utilise un objectif haute résolution, une caméra CCD et un détecteur CCD. Le triple outil de détection permet un alignement précis des structures d'essai, assurant des résultats précis et des mesures précises. TENCOR 5220Xp utilise un outil d'automatisation des étages pour la cartographie et l'alignement des plaquettes. Le modèle d'automatisation d'étage utilise un moteur linéaire pour déplacer avec précision les têtes de sonde à pointe diamant, ainsi qu'un étage rotatif de haute précision pour le positionnement précis des structures d'essai. L'équipement utilise également un système laser double à balayage rapide et ultramoderne pour fournir une cartographie thermique à haute résolution des structures d'essai. Cela permet une détection rapide et la quantification précise des effets thermiques, permettant le contrôle de précision de l'environnement de traitement. En outre, l'unité utilise des capacités sophistiquées de test électrique in situ. Cela comprend la capacité de mesurer rapidement et avec précision les paramètres physiques tels que la résistivité, la capacité, l'inductance et la réponse en fréquence. La machine comprend également des capacités de test sur puce pour les tests au niveau de la plaquette. 5220Xp outil est conçu pour offrir aux fabricants l'avantage d'une précision et d'une précision inégalées pour leurs opérations d'essai, de métrologie et d'inspection des plaquettes. Il utilise des fonctions d'essais optiques, mécaniques et électriques éprouvées et une cartographie de la température de pointe et des capacités d'essais électriques in situ pour s'assurer que les fabricants ont la capacité d'effectuer des mesures précises et précises. Cela permet aux fabricants d'avoir confiance que les résultats d'essais qu'ils obtiennent seront fiables et de la plus haute qualité.