Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE J-109 #9209398 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE J-109 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour mesurer rapidement et avec précision les propriétés électriques et physiques des puces semi-conductrices. Le système est basé sur la ligne de produits brevetée KLA Tensor et la technologie TENCOR Off-Axis Ion Beam Etch (OAIBE). L'unité a la capacité d'inspecter des plaquettes jusqu'à 200mm de taille et de mesurer des paramètres électriques tels que la résistance et la capacité avec jusqu'à 10nm de résolution. La capacité OAIBE de la machine lui permet d'analyser des plaquettes incorporant des tranchées et des vias et de mesurer des profondeurs jusqu'à 10nm. Pour les propriétés physiques, KLA J-109 est capable de mesurer des dimensions critiques telles que la largeur de ligne, la longueur de grille et la taille de contact avec une résolution de 100nm. La précision et la répétabilité des mesures de TENCOR J-109 sont rendues possibles grâce à ses capacités matérielles avancées telles que son interféromètre laser de 8nm et sa caméra CCD de 14 bits, ainsi que des capacités avancées telles que la compensation de la déformation du faisceau et le balayage multi-axes. La combinaison de ces caractéristiques garantit des résultats très précis, reproductibles et fiables. L'outil est conçu pour faciliter l'utilisation de l'opérateur et du personnel de maintenance. L'interface utilisateur graphique conviviale donne accès à une gamme de fonctionnalités utiles telles que les assistants de recette, le partage de recette et l'optimisation des paramètres. Le personnel de maintenance a accès à une gamme d'outils tels qu'un portail de maintenance en ligne, un portail de maintenance à distance et une boîte à outils de technicien. J-109 est un actif polyvalent conçu pour un large éventail d'applications d'inspection des plaquettes et de métrologie. Il peut être utilisé dans la recherche et le développement de nouveaux procédés, la surveillance des processus de production et la détection et l'isolement de produits défectueux. La grande capacité (jusqu'à 200mm de plaquettes) et les capacités de haute résolution (jusqu'à 10nm) du modèle lui permettent d'être utilisé dans un large éventail d'industries, y compris la fabrication, l'emballage et l'essai d'IC, le circuit imprimé et l'impression de plaquettes. Dans l'ensemble, THERMA-WAVE J-109 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes très avancé, mais convivial, conçu pour mesurer rapidement et avec précision les propriétés électriques et physiques des puces semi-conductrices. Sa grande capacité (jusqu'à 200mm de plaquettes), sa haute résolution (jusqu'à 10nm) et ses capacités logicielles et matérielles de pointe en font un choix idéal pour une large gamme d'applications d'inspection et de métrologie des plaquettes.