Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293634793 à vendre en France
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Vendu
ID: 293634793
Style Vintage: 1997
Film thickness measurement system
Missing parts: Robot and controller
1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu principalement pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système fournit des mesures de métrologie simultanées sur jusqu'à 12 sites de plaquettes en parallèle, permettant un débit maximum dans une faible empreinte. L'unité est capable d'effectuer un large éventail de mesures, y compris le profil étagé, le balayage de ligne, les fuites électriques, la capacité et la résistivité. Le logiciel de la machine est convivial et permet des écrans personnalisables, ce qui le rend facile à configurer et à utiliser. KLA OP 2600 est intégré au logiciel d'inspection KLA 2D, qui fournit en outre des capacités supérieures de collecte et d'analyse de données. En outre, l'outil est conçu pour se conformer aux processus de qualité standard de l'industrie, ce qui le rend apte à être utilisé dans les processus de production avant et arrière. L'atout est alimenté par le modèle de détection FlexTech haute vitesse TENCOR, qui utilise une plate-forme laser brevetée pour détecter avec précision les caractéristiques et les défauts des plaquettes. Cela permet à l'équipement de mesurer des caractéristiques aussi petites que 25 nanomètres. Le système dispose également d'un détecteur optique à 6 points et d'un microscope de précision pour assurer la précision des mesures. L'unité a une capacité de 12 150 mm de plaquettes par cycle et est équipée d'un robot universel à pinces pour une flexibilité supplémentaire. De plus, le robot est équipé de 12 canaux de comptage d'électrons indépendants pour un débit maximum de plaquettes. De plus, la machine est équipée d'un large éventail de fonctions automatisées, y compris la vérification automatique des plaquettes, la reconnaissance de focalisation, l'alignement et une capacité de sauvetage automatique. Il est compatible avec une gamme de techniques de métrologie, y compris le retrait des plaquettes, la variation CD/CD et Focus/NPDF. Le logiciel de l'outil est conçu pour améliorer le contrôle des processus et réduire les délais de commercialisation en intégrant des outils d'optimisation des processus et en fournissant une rétroaction en temps réel sur l'efficacité des processus. En outre, l'actif est conçu pour être très flexible, offrant un certain nombre d'options d'imagerie 3D et s'intégrant à une variété d'autres logiciels. Dans l'ensemble, TENCOR OP 2600 fournit une solution complète pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Son logiciel convivial et personnalisable offre une plate-forme facile à configurer, tandis que son modèle de détection avancé et sa large gamme de fonctionnalités automatisées garantissent des résultats précis et fiables.
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