Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293820412 à vendre en France

ID: 293820412
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1997
Film thickness measurement system, 6"-8" Measurement tool: BPR, BPE, VAS SBC Board, CPU Pentium III 600 MHz COGNEX 3000 Vision system Robot ESC200 Controller 1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 wafer testing and metrology equipment est une plate-forme de métrologie intégrée conçue pour l'analyse et la caractérisation des wafers. Il se compose de deux composantes principales : le sous-système de métrologie et le sous-système de test. Le sous-système de métrologie dispose d'un microscope stéréo CCD pour la collecte et l'analyse d'images au niveau de la matrice. Il est équipé d'un système de focalisation automatisé, d'une unité d'auto-calibrage et d'une machine de traitement d'image. La sortie CCD est analysée à l'aide d'algorithmes avancés de reconnaissance de motifs pour déterminer la hauteur de la matrice, l'emplacement du clivage, l'inclinaison de la matrice et d'autres paramètres connexes. Le sous-système d'essai comprend un outil de mesure de la chaleur et un dispositif automatisé de détection des fuites. Le modèle de mesure thermique mesure la conductivité thermique de la plaquette en envoyant un faisceau IR de faible puissance à la plaquette et en mesurant l'énergie thermique émise. L'équipement automatisé de détection des fuites est conçu pour détecter les fissures ou autres défauts sur la surface de la plaquette. Il utilise des lasers à balayage rapide pour scanner toute la surface de la plaquette et détecter les défauts éventuels. Dans l'ensemble, KLA OP 2600 wafer testing and metrology system est une plate-forme puissante et fiable pour l'analyse et la caractérisation des wafers. Il fournit un niveau élevé de précision et de précision grâce à ses systèmes de focalisation et d'étalonnage automatisés, ses algorithmes de reconnaissance de motifs et ses systèmes de mesure de la chaleur et de détection automatisée des fuites. Grâce à cette plate-forme, les opérateurs sont en mesure d'analyser et de caractériser rapidement et précisément différents types de plaquettes avec une seule unité de métrologie intégrée.
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