Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9250104 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour la caractérisation de plaquettes de silicium. Ce système est conçu pour mesurer l'épaisseur, l'indice de réfraction, la constante diélectrique et d'autres paramètres d'une seule plaquette. Il est capable de mesurer 150 mm et 200 mm wafers en un seul processus, réduire le temps de cycle et réduire les temps d'arrêt de maintenance. KLA OP 2600 supporte une variété de mesures dont l'indice de réfraction, l'épaisseur, la paroi latérale, l'uniformité d'épaisseur, la constante diélectrique, le niveau de film adhéré, l'uniformité de la couche barrière, la planéité, la qualité du substrat, la réflectivité et la rugosité. Ces mesures sont effectuées sur des fréquences et des angles variables, ce qui permet un plus large éventail de résultats de caractérisation. En outre, l'unité est équipée d'une variété de techniques de compensation automatisées, pour une répétabilité et une précision constantes. La machine est capable de traiter jusqu'à quatre plaquettes simultanément, avec des températures allant de la température ambiante à 500 ° C Il comprend une étape chauffée, permettant de mesurer des températures jusqu'à 500 ° C L'outil permet également l'acquisition de données en temps réel, l'analyse, le diagnostic et les capacités de contrôle, permettant un processus plus efficace et optimisé. L'actif comprend également l'interférométrie laser, une approche de précision pour mesurer l'épaisseur optique de la plaquette. TENCOR OP 2600 comprend des outils de vérification des erreurs et fournit des logiciels de processus pré et post personnalisables pour accélérer les délais de production. Le modèle est équipé d'une station d'étalonnage automatisée, assurant précision et répétabilité et éliminant les étapes d'étalonnage manuel. De plus, l'équipement comprend à la fois une console d'opérateur et un graphique à barres lumineuses pour fournir des commentaires à l'utilisateur. Dans l'ensemble, THERMA-WAVE OP 2600 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes hautement capable, permettant aux professionnels de mesurer rapidement et avec précision une grande variété de paramètres sur une seule plaquette. Sa polyvalence, sa précision et sa répétabilité en font un outil précieux et fiable pour la caractérisation des plaquettes de silicium.